Einachsentische für die Bewegung in einer Ebene

Ideal für präzise nm-Positionierung

Tische mit einfacher X- oder Z-Achsen-Bewegung

Einachsige Tische bieten die Möglichkeit, Proben oder andere Objekte präzise in einer Richtung zu positionieren. Es sind spezielle Versionen für den Einsatz im Vakuum oder unter kryogenen Bedingungen sowie Designs zur einfachen Integration in größere OEM-Baugruppen erhältlich.

Für die Halbleiter-, Mikrobiologie-, Photonik- und viele andere Industrien ist eine präzise nm-Bewegung in einer einzigen Achse entscheidend. piezosystem jena bietet mehrere Serien von einachsigen Tischen mit Bewegungen bis zu 1500 µm, hoher Steifigkeit und sub-nm-Auflösung an.

Es gibt Piezotische mit Laser- und freier Apertur, als auch sehr kompakte Tische, die optional mit Positionierungssensoren für eine präzise Steuerung ausgestattet sind.

Auch die MIPOS Objektivpositionierer stellen einachsige Lösungen dar.

Unsere Piezotische arbeiten ohne Magnetfelderzeugung. Einige Tische enthalten optional eine Vorspannung für dynamische Bewegungen.

nanoSX 800 abgebildet

Besonderheiten:

Die Tische der PZ-Serie sind speziell für hochauflösende und hochpräzise Bewegungen in der Z-Achse konzipiert.

nanoSX-Tische bieten Parallelführung und Anstiegszeiten im Millisekundenbereich.

Der ScaniusOne-Tisch ist für das Scannen von Objekten über einen großen Bereich hin konzipiert.

Die Aktoren der PU- und PX-Serie verfügen über eine integrierte Vorspannung und sind ideal für die nm-genaue Positionierung von optischen Komponenten wie Spiegeln und Laserdioden geeignet.

Eigenschaften Piezotische:

  • vertikale oder horizontale einachsige Bewegungen
  • Stellweg bis 1500 µm
  • Varianten mit integrierter Vorspannung
  • hohe Resonanzfrequenz
  • sub-nm Auflösung verfügbar
  • optional integrierte Positionssensoren
  • vakuumkompatible Version verfügbar
  • keine Magnetfelderzeugung

PZ 250 CAP WL

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ScaniusOne

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PZ 700

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PZ 400 OEM

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PZ 400

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PZ 200

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nanoSX 800

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nanoX 400

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nanoX 200

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PU 100

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PX 1500

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PX 500

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PX 400

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PX 200

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PX 100

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MIPOS 16

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MIPOS 600 SG

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MIPOS 500

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nanoMIPOS 400

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MIPOS 250

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MIPOS 100

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