PX 400
- Präzise Parallelbewegung
- Stellbereich bis 400 µm
- Bewegung frei von mechanischem Spiel
- einfach kombinierbar zu anderen piezoelektrischen Systemen
- Präzisionsstiftlöcher für genaue Justierung
- hohe Dynamik dank integrierter Vorspannung
Zur Anfrage hinzufügen
PX 400 Beschreibung
Das Festkörpergelenkgelenksystem und die Parallelogrammkonstruktion der PX 400-Piezotische ermöglichen eine Bewegung ohne mechanisches Spiel. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.
Der PX 400-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.
Besonders im Bereich der Präzisionspositionierung und des Hochleistungsscannens bewährt sich der Positioniertisch PX 400 aufgrund seiner sub-nm Auflösung, z. B. in der Halbleiterindustrie, Elektronik, Messtechnik und Mikrobiologie.
Technische Daten
| EINHEIT | PX 400 | PX 400 SG | PX 400 CAP | |
|---|---|---|---|---|
| Art. # | T-108-00 | T-108-01 | T108-06 | |
| Achse | X | X | X | |
| Stellweg im Open Loop (±10%)* | μm | 400 | – | – |
| Stellweg im Closed Loop (±0,2%)* | μm | – | 320 | 320 |
| Auflösung Open Loop** | nm | 0.8 | – | – |
| Auflösung Closed Loop** | nm | – | 8 | 4 |
| Maße (L x Bx H) | mm | 52 x 48 x 20 | 52 x 48 x 20 | 70.7 x 48 x 20 |
| Gewicht | g | 175 | 175 | 210 |
