PX 400

  • Präzise Parallelbewegung
  • Stellbereich bis 400 µm
  • Bewegung frei von mechanischem Spiel
  • einfach kombinierbar zu anderen piezoelektrischen Systemen
  • Präzisionsstiftlöcher für genaue Justierung
  • hohe Dynamik dank integrierter Vorspannung
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Beschreibung

Das Festkörpergelenkgelenksystem und die Parallelogrammkonstruktion der PX 400-Piezotische ermöglichen eine Bewegung ohne mechanisches Spiel. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 400-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Besonders im Bereich der Präzisionspositionierung und des Hochleistungsscannens bewährt sich der Positioniertisch PX 400 aufgrund seiner sub-nm Auflösung, z. B. in der Halbleiterindustrie, Elektronik, Messtechnik und Mikrobiologie.

Technische Daten

EINHEITPX 400PX 400 SGPX 400 CAP
Art. #T-108-00T-108-01T108-06
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm400
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm320320
Auflösung Open Loop**nm0.8
Auflösung Closed Loop**nm84
Maße (L x Bx H)mm52 x 48 x 2052 x 48 x 2070.7 x 48 x 20
Gewichtg175175210
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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