PX 200

  • Präzise Parallelbewegung
  • Stellbereich bis 200 µm
  • Bewegung frei von mechanischem Spiel
  • einfach kombinierbar zu anderen piezoelektrischen Systemen
  • Präzisionsstiftlöcher für genaue Justierung
  • hohe Dynamik dank integrierter Vorspannung
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Beschreibung

Die Festkörpergelenks- und Parallelogramm-Konstruktion des PX 200 erzeugen parallele und spielfreie Bewegung auf der X- und Z-Achse. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 200-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Diese Systeme eignen sich besonders für Applikationen bei denen eine präzise und fein abstimmbare Positionierung verschiedenster Komponenten erforderlich ist, z. B. in der Halbleiterindustrie, Elektronik, Messtechnik und Mikrobiologie.

Technische Daten

EINHEITPX 200PX 200 SGPX 200 CAP
Art. #T-106-00T-106-01T-106-06
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm200
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm160160
Auflösung Open Loop**nm0.4
Auflösung Closed Loop**nm42
Maße (L x B x H)mm52 x 48 x 2052 x 48 x 2070.5 x 48 x 20
Gewichtg175180210
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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