Präzise X-, Y- & Z-Positionierung
TRITOR® Nanopositioner sind extrem kompakt, bieten jedoch gleichzeitig Verfahrwege bis zu 400 µm auf allen drei X-, Y- und Z-Achsen. FEM-optimierte monolithische Festkörpergelenke ermöglichen eine vollkommen spielfreie Positionierung. Alle Achsen können mit integrierten Positionssensoren ausgerüstet werden, um Hystereseffekte zu verhindern.
Diese Systeme können einfach in andere mechanische Positioniersysteme integriert werden, wodurch sie optimal für verschiedenste Applikationen von der Optikforschung bis hin zu OEM-Anwendungen geeignet sind. Typische Einsatzbereiche der TRITOR Systeme sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade. Alle Systeme der TRITOR-Serie können in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan und als Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen gefertigt werden.
Über diagonal angeordnete Bohrungen werden beliebige Komponenten auf die XYZ-Positioniersysteme montiert.
Montage:
Alle Tische sind mit einer Deck- und Fußplatte konstruiert. Präzisionsstiftlöcher und Gewindebohrungen in diesen Platten können genutzt werden, um das System und Kundenapplikationen präzise zu fixieren.
Systemeigenschaften:
- 3D Piezo Nanopositioniersystem
- kompaktes Design
- Festkörpergelenke für spielfreie Bewegung
- Verfahrwege von 9 bis 400 µm
- höchste Positioniergenauigkeit
- typische Anwendungen: AFM- and SFM- Mikroskopie, Faserausrichtung, Strahlführung und Halbleiterherstellung
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