microTRITOR

  • 3D Piezo Nanopositioniersystem
  • ultrakompaktes Design
  • Festkörpergelenke für spielfreie Bewegung
  • Stellbereich bis 9 µm
  • ultrapräzise Übersetzung durch FEA-optimiertes Parallelogramm-Design
  • hochauflösende Positionierung
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Beschreibung

Der einzigartige 3D-XYZ-Nanopositionierer microTRITOR nutzt extrem kompakte Elemente, um eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel zu erreichen. Trotz der minimalen Abmessungen können Bewegungen von bis zu 9 µm auf allen drei Achsen realisiert werden. Die Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.

Der microTRITOR kann einfach mit anderen mechanischen oder elektromagnetischen Positioniersystemen höchster Auflösung kombiniert werden. Aufgrund seines Designs eignet sich der microTRITOR für dynamische Anwendungen.

Technische Daten

EINHEITmicroTRITOR
Art. #T-400-00
AchsenX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm9
Auflösung Open Loop**nm0.02
Maße (L x B x H)mm15 x 15 x 15
Gewichtg12
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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