microTRITOR
- 3D Piezo Nanopositioniersystem
- ultrakompaktes Design
- Festkörpergelenke für spielfreie Bewegung
- Stellbereich bis 9 µm
- ultrapräzise Übersetzung durch FEA-optimiertes Parallelogramm-Design
- hochauflösende Positionierung
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microTRITOR – Beschreibung
Der einzigartige 3D-XYZ-Nanopositionierer microTRITOR nutzt extrem kompakte Elemente, um eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel zu erreichen. Trotz der minimalen Abmessungen können Bewegungen von bis zu 9 µm auf allen drei Achsen realisiert werden. Die Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.
Der microTRITOR kann einfach mit anderen mechanischen oder elektromagnetischen Positioniersystemen höchster Auflösung kombiniert werden. Aufgrund seines Designs eignet sich der microTRITOR für dynamische Anwendungen.
Technische Daten
| EINHEIT | microTRITOR | |
|---|---|---|
| Art. # | T-400-00 | |
| Achsen | X, Y, Z | |
| Stellweg im Open-Loop (±10%)* | μm | 9 |
| Auflösung Open-Loop** | nm | 0.02 |
| Maße (L x B x H) | mm | 15 x 15 x 15 |
| Gewicht | g | 12 |
