Optische Systeme benötigen häufig eine zentrale Öffnung zum Durchführen von Licht. Für solche Anwendungen wurde der PENTOR mit einer 17mm Durchgangsöffnung entwickelt. Er bietet 100µm Hub in XYZ, sowie einem Kippwinkel von ±2 mrad in zwei orthogonal angeordneten Achsen.
Festkörpergelenke in den drei Achsen sorgen für eine hochparallele Positionierung über den gesamten Verfahrbereich. Jede Achse ist mit einer mechanischen Vorspannung ausgestattet, wodurch der PENTOR ideal für dynamische Anwendungen ist. Das Kippsystem ist für Plus-Minus-Verkippung ausgelegt.
Aufgrund der Temperaturkompensation der Konstruktion ist der Kippwinkel unabhängig von der Umgebungstemperatur. Die Spiegelhalterungen sind vorgespannt und weisen eine hohe Steifigkeit und Resonanzfrequenz auf – so ist ein dynamischer Betrieb möglich. Die Hauptkomponenten sind mit Festkörpergelenken aus rostfreiem Stahl konstruiert. Deck- und Bodenplatte bestehen aus schwarz eloxiertem Aluminium.
Optional kann der 5-Achs PENTOR mit einem DMS-Messsystem ausgestattet werden.
| EINHEIT | PENTOR | PENTOR SG | |
|---|---|---|---|
| Art. # | T-450-00 | T-450-01 | |
| Achsen | X, Y, Z, ØX, ØY | X, Y, Z, ØX, ØY | |
| Stellweg X, Y, Z im Open-Loop (±10%)* | μm | 100 | 100 |
| Stellweg X, Y, Z im Closed-Loop (±0.2%)* | μm | – | 80 |
| Auflösung Open-Loop** | nm | 0.2 | 0.2 |
| Auflösung Closed-Loop** | nm | – | 2 |
| Maße (L x B x H) | mm | 69 x 68 x 40 | 69 x 68 x 40 |
| Gewicht | g | 450 | 490 |
