TRITOR 100

  • 3D Piezo Nanopositioniersystem
  • kompaktes Design mit optional integrierten Positionssensoren
  • spielfreie Bewegung jeder Achse
  • Verfahrweg bis zu 100 µm je Achse
  • ultrapräzise Übersetzung durch FEA-optimiertes Parallelogramm-Design
  • hochauflösende Positionierung
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Beschreibung

Der TRITOR 100 kann Parallelbewegungen bis 100 µm auf allen drei Achsen realisieren. Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 100 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.

Typische Einsatzbereiche des TRITOR 100 sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade.

Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf einen mechanischen Grundaufbau befestigt – dies ist wichtig beim Einsatz für dynamische Anwendungen. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Der TRITOR 100 ist auch für hochdynamische Anwendungen ausgelegt.

Der TRITOR 100 kann in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan gefertigt werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind optional verfügbar.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 100TRITOR 100 SGTRITOR 100 CAP
Art. #T-403-00T-403-21T-403-06
AchsenX, Y, ZX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm100100100
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*μm8080
Auflösung**nm0.22.01.0
Maße (L x B x H)mm40 x 40 x 3440 x 40 x 3460 x 60 x 41
Gewichtg165160550
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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