Drei Achsen -
Kippsysteme für Spiegel

Ideal für präzise nm-Strahlführung

Dreiachsige Tip-Tilt Lösungen

Dreiachsige Kippsysteme bieten alle FSM-Funktionen zweiachsiger Tip-Tilt-Systeme, jedoch mit dem zusätzlichen Vorteil der Z-Achsen-Steuerung. Dies ist vorteilhaft bei Anwendungen, bei denen die thermische Ausdehnung eines Systems ausgeglichen werden muss, da dadurch auch Korrekturen der Phasenverschiebung möglich sind. Diese Tische bieten hochpräzise und wiederholbare Bewegungsabläufe.

PSH-Kippsysteme bestehen aus mehreren Komponenten für Hochgeschwindigkeits-Scanning, Spiegel-Shifting, Eye-Tracking und Laserstrahlsteuerung.

Zu den wichtigsten Merkmalen der Spiegelkippsysteme gehören eine hohe Resonanzfrequenz im kHz-Bereich und eine nahezu unbegrenzte Auflösung im sub-µrad-Bereich.

Durch das Prinzip der vorgespannten Direktantriebe lassen sich die Systeme der PSH-Serie auch für die präzise Positionierung schwerer Bauteile einsetzen.  Die Langzeitstabilität ohne Drift und mit minimaler Hysterese wird durch den Einsatz der optionalen integrierten Positionssensor gewährleistet.

PSH 4z mit optionaler Montageklammer abgebildet

Besonderheiten:

Es sind vier Varianten erhältlich: PSH 1z, PSH 2z, PSH 3z und PSH 4z. Diese Serie von dreiachsigen Spiegelkippsystemen besteht aus zwei aktiven piezoelektrischen Aktoren. Diese Aktoren sorgen für die Neigung der oberen Platte in bis zu 3 Achsen. Bei Verwendung aller Aktoren zusammen weist die Deckplatte einen Hub von bis zu 8 µm auf. Zwei der Achsen stehen dabei senkrecht zueinander.

Für hohe Positioniergenauig- und -wiederholbarkeit ist eine Closed Loop Version mit integriertem Positionssensor für alle vier Varianten verfügbar. Nichtmagnetisches Material und individuelle Größen sind auf Anfrage erhältlich. Diese PSH-Systeme sind für Spiegel und optische Komponenten mit einem Durchmesser von bis zu 50 mm ausgelegt.

Systemeigenschaften:

  • schnelles 3-Aktoren Tip-Tilt-System mit 3 Achsen
  • für Spiegel und andere optische Komponenten
  • Kippwinkel von 1 bis 4 mrad
  • 2700 bsi 5800 Hz Resonanzfrequenz
  • Sub-µrad Auflösung
  • Positionssensoren verfügbar

PSH 1-4z

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