Bild des Piezo-Objektivfokus-Positionierers der MIPOS 400-Serie mit Mitutoyo-Linse

MIPOS-Serie
- Piezo-Fokus-Positionierer

Die Piezo-Fokus-Objektivpositionierer der Serie MIPOS sind für hochpräzise und genaue Verstellen und Fokussieren von Objektiven ausgelegt.

Bringen Sie Ihr Mikroskop auf das nächste Level

MIPOS-Objektivpositionierer ermöglichen das präzise Fokussieren eines Mikroskops oder anderer optischer Geräte mit einer Auflösung im Sub-Nanometerbereich. Die Positionierer lassen sich einfach an Standardmikroskopen anbringen und bieten eine schnelle und einfache Möglichkeit zur Aufrüstung Ihres Mikroskopiesystems.

Die Piezo Fokus Objektiv-Positionierer der Serie MIPOS eignen sich aufgrund der Positionsauflösung hervorragend als Z-Aktor und Scanner in Mikroskopen für die konfokale Mikroskopie, in Elektronenmikroskopen und im gesamten Gebiet der “Super Resolution Microscopy”. Dank der nahezu unbegrenzten Auflösung können Piezo-Aktoren vorgegebene Positionen hochgenau und bis auf den Nanometer reproduzierbar anfahren. Das Piezosystem reagiert sofort, wenn das Steuersignal geändert wird. Dies ermöglicht eine hohe Geschwindigkeit und eine hohe dynamische Leistung.

Animation der MIPOS 100-Serie des Piezo Objectiv-Fokus-Nanopositionierers
MIPOS 100 Animation

Mit einem MIPOS-Piezo-Positionierer können Sie Ihr optisches System auf einfache Weise aufrüsten. Es sind Gewindeadapter erhältlich, mit denen diese Objektivpositionierer mit allen Standardmikroskopen verwendet werden können – sowohl für Standard- als auch für invertierte Anwendungen. Alle Standardgewinde sind für Systeme von Zeiss, Leica, Nikon, Olympus usw. erhältlich.


Video: MIPOS – Precision Objective Positioners

YouTube Video Thumbnail of MIPOS Series Piezo Objective Positioner

Whitepaper: Beyond Microscopy – MIPOS in Industrieanwendungen (EN)

Titelbild der Broschüre zu den Piezo Focus Positioners von MIPOS

Technisches Prinzip:

Ein piezoelektrischer Aktor wird in einer einzigartigen Hebelmechanik aus Biegescharnieren konstruiert. Bei den Piezo Fokus Nanopositionierern der Serie MIPOS wird durch ein Signaländerung der Steuerspannung eine Längenänderung des Piezo-Aktors erzeugt. Mittels eines speziell konstruierten Festkörpergelenksystems wird diese Bewegung übersetzt und kann zielgerichtet auf einen Punkt gelenkt werden. Das hochentwickelte monolithische Führungsdesign bewirkt, dass die Bahnkurve frei von mechanischem Spiel und Reibung ist – eine Eigenschaft, die alle piezosystem jena Systeme bieten.

Dank dieser Technologie wird der Strahlengang parallel zur optischen Achse bewegt. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nahezu unbegrenzt. Somit wird die Genauigkeit des Systems im wesentlichen durch das Signalrauschen der Spannungsversorgung beeinflusst. Deshalb können wir nur dann eine hohe Genauigkeit garantieren, wenn Sie auch piezosystem jena Steuerelektronik verwenden.

Alle MIPOS-Systeme können mit einem integrierten hochauflösenden Positionssensor ausgestattet werden, um die exakte Genauigkeit dieser Systeme zu überprüfen und zu steuern.

Eigenschaften der MIPOS® Serie:

  • Piezo Focus-Feineinstellung
  • Sehr kleine, kompakte Bauweise
  • Parallelogramdesign mit hoher Resonanzfrequenz
  • Hochparallele Bewegung in der optischen Achse
  • Einfache und schnelle Montage
  • Flexibel einsetzbar in verschieden Systemen
  • Kostengünstige Lösung für Feinpositionierung am Mikroskop
  • auch als „upside-down“ Versionen für inverse Mikroskope erhältlich


Entdecken Sie unsere kundenspezifischen OEM-MIPOS-Lösungen

Unsere Standard-MIPOS-Serie wurde für außergewöhnlich hochpräzise Fokussieranwendungen entwickelt. Dennoch erfordern anspruchsvolle Applikationen wie die Halbleiter- und Display-Inspektion ein noch höheres Maß an Stabilität. Um „Ghost Flaws“ auszuschließen, die durch mikroskopische Maschinenerschütterungen bei tiefen vertikalen Scans entstehen, können wir diese Systeme kundenspezifisch modifizieren: So reduzieren wir den lateralen Fehler (Runout) auf ≤50 nm – eine 7-fache Steigerung der Präzision.

Lesen Sie die Application Note zu OEM MIPOS für die hochpräzise Oberflächeninspektion!

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