Der nanoMIPOS 400 bietet einen Positionier- und Scanbereich bis zu 400µm im ungeregelten und 320µm im geregelten Betrieb. Das System kann mit Objektiven von bis zu 39mm Durchmesser eingesetzt werden.
Das hochentwickelte monolithische Führungsdesign, bestehend aus massiven Festkörpergelenken, bewirkt, dass die Bahnkurve frei von mechanischem Spiel und Reibung ist – eine Eigenschaft, die alle piezosystem jena Systeme bieten.
Das Führungsdesign des nanoMIPOS 400 ist FEM-optimiert um ein Minimum an seitlichem Versatz und Verkippung, sowie eine exzellente Bahntreue zu erreichen. Dabei verhält sich das System äußerst robust gegenüber außermittiger und lateraler Belastung.
Als Option sind integrierte Positionssensoren für den nanoMIPOS 400 erhältlich, die in Verbindung mit der entsprechenden Regelelektronik die Drift- und Hystereseffekte eliminieren.
In Kombination mit einem piezosystem jena Controller bietet das System im geregelten Betrieb hohe Stabilität, Linearität und Wiederholbarkeit.
| MIPOS Serie | EINHEIT | nanoMIPOS 400 | nanoMIPOS CAP | |
|---|---|---|---|---|
| Art. # für Gewinde | M25 x 0.75 | – | O-543-00 | O-543-06 |
| W0.8 x 1/36″ (RMS) | – | O-544-00 | O544-06 | |
| M26 x 0.75 | – | O-545-00 | O-545-06 | |
| M27 x 0.75 | – | O-546-00 | O-546-06 | |
| M32x0.75 | – | O-547-00 | O-547-06 | |
| Achse | Z | Z | ||
| Hub open-loop (±10%)* | μm | 400 | 400 | |
| Hub closed-loop (±0,2%)* | μm | – | 320 | |
| Auflösung open-loop** | nm | 0.8 | 0.8 | |
| Auflösung closed-loop** | nm | – | 1 | |
| Maße (L x B x H) | mm | 65 x 45 x 40 | 65 x 45 x 40 | |
| Gewicht | g | 300 | 315 |
