XYZ- & präzise Tip-Tilt-Positionierung
Optische Systeme benötigen häufig eine zentrale Öffnung zum Durchführen von Licht. Für solche Anwendungen wurde der PENTOR mit einer 17mm Durchgangsöffnung entwickelt. Er bietet 100µm Hub in XYZ, sowie einen Kippwinkel von ±2 mrad in zwei orthogonal angeordneten Achsen.
Festkörpergelenke in den drei Achsen sorgen für eine hochparallele Positionierung über den gesamten Verfahrbereich. Jede Achse ist mechanisch vorgespannt, wodurch der PENTOR ideal für dynamische Anwendungen ist. Das Kippsystem ist für Plus-Minus-Verkippung ausgelegt.
Aufgrund der Temperaturkompensation der Konstruktion ist der Kippwinkel unabhängig von der Umgebungstemperatur.
Die Hauptkomponenten sind mit Festkörpergelenken aus rostfreiem Stahl konstruiert. Deck- und Bodenplatte bestehen aus schwarz eloxiertem Aluminium.
Optional kann der 5-Achs PENTOR mit einem DMS-Messsystem ausgestattet werden.
Besonderheiten:
Der Spannungsbereich des PENTOR liegt bei -20 … + 130, mit einer Betriebstemperatur von -20 … +80 ˚C.
Die Auflösung im Open-Loop beträgt 0,2 nm für XYZ und 2nm im Closed-Loop. Für das Kippsystem sind es 0,008 µrad im Open-Loop und 0.08 µrad im Closed-Loop.
Der PENTOR misst 69 L x 68 B x 40 H mm und wiegt 450g. (450g für DMS)
Systemeigenschaften:
- Lineare Bewegung in 3 Achsen in Kombination mit Kippelementen
- zentrale Apertur Ø17 mm
- integrierte Vorspannung
- Bewegung je Achse: bis 100 μm
- Kippwinkel je Achse: ±2 mrad
- Festkörpergelenke in Parallelogramm-Design für spielfreie Bewegung
- optionales DMS-Messsystem
- optional: Vakuum- und Niedertemperaturausführung
