Waferproduktionsprozesse wie Stealth Dicing, Lithografie, Dotierung, Implantierung und Planarisierung erfordern die präzise Positionierung größerer Substrate. Unser 12″-Z-Achsen-System wurde entwickelt, um Wafer hochpräzise zu positionieren und diese Position mit ebensolcher Präzision zu halten und wiederherstellen zu können.
Unser 3-Achsen-Positioniersystem bietet spielfreie Bewegungen in XYZ mit einem Verfahrbereich von bis zu 100 μm. Damit eignet es sich ideal für anspruchsvolle AFM- und Scan-Anwendungen.

Durch das Aufbringen einer Silikonbeschichtung auf die internen Komponenten sind die Systeme vor hoher Luftfeuchtigkeit geschützt. Dies erhöht ihre Fähigkeit, einer relativen Luftfeuchtigkeit von bis zu 98 % standzuhalten, bevor sie ausfallen.

Der Weltraum kann eine schwierige Umgebung sein – nicht jedoch für piezoelektrische Aktoren. Unsere schnelllenkende Spiegelantriebstechnologie ist immun gegen magnetische Einflüsse und strahlungstolerant – eine perfekte Lösung für Satelliten und Raumfahrzeuge. Die kompakten und leichten Spiegelantriebe von piezosystem jena werden derzeit für den Einsatz in optischen Kommunikationsendgeräten der nächsten Generation qualifiziert.

Seit seiner Gründung 1991 bietet piezosystem jena umfangreiches Wissen und fundierte technische Expertise der Piezotechnologie in der Anwendung, Konstruktion und Entwicklung von Nanopositionierern. Zusätzlich zu unserem umfangreichen Katalog an COTS-Produkten bieten wir kundenspezifische Lösungen und Beratung für Ihre individuellen Anwendungen an. So entstehen langjährige und profitable Partnerschaften für beide Seiten.

Halbleiterhersteller entwickeln Chips mit Strukturen von bis zu 4 Nanometern. Dies erfordert Positionierungssysteme mit höchster Präzision.

Die Ausrichtung von Laserstrahlen, die Positionierung von Mikroskopobjektiven und die Feinjustierung von Proben erfordern präzise und schnelle Bewegungen. Basierend auf dem inversen piezoelektrischen Effekt bieten die Produkte von piezosystem jena im Vergleich zu anderen Lösungen auf dem Markt einzigartige technische Eigenschaften, wie z.B. Sub-Nanometer-Auflösungen, sofortige Positionierung und hohe Zuverlässigkeit. Erhältlich in Konfigurationen mit offenem und geschlossenem Regelkreis, können unsere Produkte selbst die anspruchsvollsten Positionieraufgaben in der Photonikindustrie erfüllen.