Der neue Objektivpositionierer MIPOS 800 bietet einen Nanopositionier-Scanbereich von bis zu 800 µm im Open-Loop-Betrieb und 650 µm im Closed-Loop-Betrieb. Resonanzfrequenz bis zu 100 Hz. Schrittauflösung im geschlossenen Regelkreis von 12 nm.

Die NEUEN 2-Achsen-Kipptische PSH 20 und PSH 35 bieten einen geschlossenen Kippbereich von bis zu 36 mrad mit einer Auflösung von 1 µrad. Die Tische bieten eine Resonanzfrequenz von bis zu 1,4 kHz mit einem 0,7′-Spiegel. Perfekt für Strahlsteuerung, Laserscanning, Rastermikroskopie und mehr.

Waferproduktionsprozesse wie Stealth Dicing, Lithografie, Dotierung, Implantierung und Planarisierung erfordern die präzise Positionierung größerer Substrate. Unser 12″-Z-Achsen-System wurde entwickelt, um Wafer hochpräzise zu positionieren und diese Position mit ebensolcher Präzision zu halten und wiederherstellen zu können.
Unser 3-Achsen-Positioniersystem bietet spielfreie Bewegungen in XYZ mit einem Verfahrbereich von bis zu 100 μm. Damit eignet es sich ideal für anspruchsvolle AFM- und Scan-Anwendungen.

Durch das Aufbringen einer Silikonbeschichtung auf die internen Komponenten sind die Systeme vor hoher Luftfeuchtigkeit geschützt. Dies erhöht ihre Fähigkeit, einer relativen Luftfeuchtigkeit von bis zu 98 % standzuhalten, bevor sie ausfallen.

Der Weltraum kann eine schwierige Umgebung sein – nicht jedoch für piezoelektrische Aktoren. Unsere schnelllenkende Spiegelantriebstechnologie ist immun gegen magnetische Einflüsse und strahlungstolerant – eine perfekte Lösung für Satelliten und Raumfahrzeuge. Die kompakten und leichten Spiegelantriebe von piezosystem jena werden derzeit für den Einsatz in optischen Kommunikationsendgeräten der nächsten Generation qualifiziert.