Piezo Spaltantrieb PZS 4

  • Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
  • Gesteuert von nur einem Piezoaktor
  • Spaltöffnung bis 300 µm
  • nm-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version
  • Optionales Wegmesssystem
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Beschreibung

Beim PZS 4 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.

Technicsche Daten

PZS SerieEINHEITPZS 4
Art. #O-101-80
Öffnfung (±10%)*μm0 to 300
Kapazität (± 20%)μF2.5
Auflösung Open Loop**nm0.6
ResonanzfrequenzHz500
Maße (L x B x H)mm50 x 50 x 14
Gewichtg115
*Typischer Wert, gemessen mit einem NV 40/3 Controller ( Closed Loop: NV 40/3 CLE Controller). **Typischer Wert für kleine elektrische Feldstärke.

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