Piezo Spaltantrieb PZS 3
- Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
- Gesteuert von nur einem Piezoaktor
- Spaltöffnung bis 1500 µm
- nm-genaue Positionsauflösung
- UHV-kompatible Version
- Optionales Wegmesssystem
Beim PZS 3 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.
Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.
PZS Serie | EINHEIT | PZS 3 |
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Art. # | – | O-103-00 |
Öffnung (±10%)* | μm | 0 to 1500 |
Kapazität (± 20%) | μF | 7.2 |
Auflösung Open-Loop** | nm | 3 |
Resonanzfrequenz | Hz | 200 |
Maße (L x B x H) | mm | 96 x 25 x 14 |
Gewicht | g | 70 |