Piezo Spaltantrieb PZS 1

  • Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
  • Gesteuert von nur einem Piezoaktor
  • Spaltöffnung bis 230 µm
  • nm-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version
  • Optionales Wegmesssystem
  • Schneiden aus Edelstahl erhältlich
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Beschreibung

Beim PZS 1 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.

Technische Daten

PZS SeriesEINHEITPZS 1
Art. #O-101-00
Öfnnung (±10%)*μm0 to 230
Kapazität (± 20%)μF1.8
Auflösung Open Loop**nm0.05
ResonanzfrequenzHz450
Maße (L x B x H)mm42 x 42 x 14
Gewichtg115
*Typischer Wert, gemessen mit einem NV 40/3 Controller ( Closed Loop: NV 40/3 CLE Controller). **Typischer Wert für kleine elektrische Feldstärke.