Tische mit Bewegung auf zwei Achsen
Zweiachsige Tische bieten die Möglichkeit, Proben oder andere Objekte sowohl in X- als auch in Y-Richtung präzise zu positionieren. Es sind vakuum- und kryokompatible Versionen sowie Ausführungen mit Innenapertur erhältlich, die den Durchgang von Licht durch den Tisch für photonische Anwendungen ermöglichen.
Diese Tische werden häufig für Anwendungen in der Mikroskopie, der Materialforschung, der Nanopositionierung, Pixelshifting und für Halbleitertestgeräte verwendet, bei denen eine präzise Nanometerbewegung auf zwei Achsen entscheidend ist.
Es gibt Tische mit Laser- und Sichtapertur sowie Tische, die optional mit Positionierungssensoren im geschlossenen Regelkreis ausgestattet sind.
Einige Systeme sind mit einer mechanischen Vorspannung für dynamische Anwendungen ausgestattet. Sie erzeugen keine Magnetfelder.
Besonderheiten:
Die zweiachsigen PXY-Tische bieten eine Apertur von bis zu 40 mm und arbeiten ohne mechanisches Spiel.
Sie wurden für die schnelle und präzise Positionierung von optischen und mechanischen Komponenten entwickelt und haben eine sehr hohe Steifigkeit in der Z-Achse.
Eigenschaften Tische:
- hochauflösender, zweiachsiger Hub
- Verstell- bzw. Scanbereiche zwischen 15 µm und 400 µm
- hohe Resonanzfrequenz
- sub-nm Auflösung möglich
- Versionen mit Messsensoren verfügbar (SGS, CAP)
- optional: vakuumkompatible Versionen
- keine Magnetfelderzeugung