Zwei Achsen -
Tische für zwei Bewegungsebenen

Ideal geeignet für die präzise nm-Positionierung in zwei Dimensionen

Tische mit Bewegung auf zwei Achsen

Zweiachsige Tische bieten die Möglichkeit, Proben oder andere Objekte sowohl in X- als auch in Y-Richtung präzise zu positionieren. Es sind vakuum- und kryokompatible Versionen sowie Ausführungen mit Innenapertur erhältlich, die den Durchgang von Licht durch den Tisch für photonische Anwendungen ermöglichen.

Diese Tische werden häufig für Anwendungen in der Mikroskopie, der Materialforschung, der Nanopositionierung, Pixelshifting und für Halbleitertestgeräte verwendet, bei denen eine präzise Nanometerbewegung auf zwei Achsen entscheidend ist.

Es gibt Tische mit Laser- und Sichtapertur sowie Tische, die optional mit Positionierungssensoren im geschlossenen Regelkreis ausgestattet sind.

Einige Systeme sind mit einer mechanischen Vorspannung für dynamische Anwendungen ausgestattet. Sie erzeugen keine Magnetfelder.

PXY D12 abgebildet

Besonderheiten:

Die zweiachsigen PXY-Tische bieten eine Apertur von bis zu 40 mm und arbeiten ohne mechanisches Spiel.

Sie wurden für die schnelle und präzise Positionierung von optischen und mechanischen Komponenten entwickelt und haben eine sehr hohe Steifigkeit in der Z-Achse.

Eigenschaften Tische:

  • hochauflösender, zweiachsiger Hub
  • Verstell- bzw. Scanbereiche zwischen 15 µm und 400 µm
  • hohe Resonanzfrequenz
  • sub-nm Auflösung möglich
  • Versionen mit Messsensoren verfügbar (SGS, CAP)
  • optional: vakuumkompatible Versionen
  • keine Magnetfelderzeugung

L-shaped metallic piezoelectric actuator with red internal component and cable connection

PXY 200 D12

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L-shaped metallic piezoelectric actuator with red internal component and cable connection

PXY 80 D12

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L-shaped metallic piezoelectric actuator with red internal component and cable connection

PXY 40 D12

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Black and silver precision motion stage with mounting holes, cables, and circular cutouts on a white background

nanoSXY 400

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Silver rectangular precision motion stage with central circular aperture and attached black cable

nanoSXY 120

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Black octagonal piezoelectric stage with central hole, red and silver screws, colored labels, and cables attached.

PXY 200

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Black and silver square piezoelectric stage with mounting holes, central aperture, colored label, and attached cable.

PXY 102

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Black and silver piezoelectric positioning stage with mounting holes, screws, cable, and label reading 'piezosystem jena

PXY 100

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Square linear motion stage with black top plate, silver body, and two cables extending from opposite sides.

PXY 38

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Silver square motor with black ring and cable

PXY 16

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