PXY 40 D12

  • hochpräzise XY-Positionierung
  • bis zu 40μm Stellbereich in XY (open loop)
  • Optimierung auf minimalen Z-Hub
  • hohe Dynamik
  • erweiterbar mit Z-Element zu einm XYZ Scanner
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Beschreibung

Der Nanopositionierer PXY 40 D12 wurde für Pixelshifting, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.

Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 400 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.

Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.

Technische Daten

EINHEITPXY 40 D12
Art. #S-605-37
AchseX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm40
Auflösung Open Loop**nm0.08
Maße (L x B x H)mm54 x 53.5 x 20
Gewichtg90
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

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