PXY 80 D12

  • hochpräzise XY-Positionierung
  • bis zu 80μm Stellbereich in XY (open loop)
  • Optimierung auf minimalen Z-Hub
  • hohe Dynamik
  • erweiterbar mit Z-Element zu einem XYZ Scanner
  • optional: hochauflösende Positionssensoren
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Beschreibung

Der Nanopositionierer PXY 80 D12 wurde für Pixelshift, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.

Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 80 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.

Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.

Technische Daten

EINHEITPXY 80 D12PXY 80 D12 SGPXY 80 D12 CAP
Art. #S-605-10S-605-14S-605-16
AchseX, YX, YX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm808080
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*μm6565
Auflösung Open Loop**nm0.16
Auflösung Closed Loop**nm1.61
Maße (L x B x H)mm54 x 53.5 x 1654 x 53.5 x 1664 x 63.5 x 22
Maßeg9090155
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) . **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

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