PXY 80 D12
- hochpräzise XY-Positionierung
- bis zu 80μm Stellbereich in XY (open-loop)
- Optimierung auf minimalen Z-Hub
- hohe Dynamik
- erweiterbar mit Z-Element zu einem XYZ Scanner
- optional: hochauflösende Positionssensoren
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PXY 80 D12 – Beschreibung
Der Nanopositionierer PXY 80 D12 wurde für Pixelshift, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.
Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 80 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.
Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.
Technische Daten
| EINHEIT | PXY 80 D12 | PXY 80 D12 SG | PXY 80 D12 CAP | |
|---|---|---|---|---|
| Art. # | S-605-10 | S-605-14 | S-605-16 | |
| Achse | X, Y | X, Y | X, Y | |
| Stellweg im Open-Loop (±10%)* | μm | 80 | 80 | 80 |
| Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)* | μm | – | 65 | 65 |
| Auflösung Open-Loop** | nm | 0.16 | – | – |
| Auflösung Closed-Loop** | nm | – | 1.6 | 1 |
| Maße (L x B x H) | mm | 54 x 53.5 x 16 | 54 x 53.5 x 16 | 64 x 63.5 x 22 |
| Maße | g | 90 | 90 | 155 |
