Für Laseroptik, Spektroskopie und Schalter
Bei den Shuttern / Piezo-Spaltantrieben Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem einzigen Piezo-Aktor bewegt.
Der größte Markt für diese Systeme ist die Photonikindustrie, wo sie zur Strahlformung und Kollimation eingesetzt werden.
Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem möglich. Die verwendeten Dehnungsmessstreifen sichern dabei eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.
Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version sowie mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.
Besonderheiten:
Ausgewählte Shutter/Piezo-Spaltantriebe PZS sind mit Schneiden aus Stahl erhältlich. Das optionale Messsystem nutzt Dehnmessstreifen.
Zu den üblichen Anwendungsbereichen gehören Optik, Spektroskopie, Vakuumsysteme, optische Schalter, Shutter und Scanner.
Systemeigenschaften:
- Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
- Gesteuert von nur einem Piezoaktor
- Spaltöffnung von 60 µm bis 1500 µm
- nm-genaue Positionsauflösung
- UHV-kompatible Version
- Optionales Wegmesssystem
