Piezo Spaltantrieb PZS 2
- Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
- Gesteuert von nur einem Piezoaktor
- Spaltöffnung bis 60 µm
- nm-genaue Positionsauflösung
- UHV-kompatible Version
- Optionales Wegmesssystem
- Schneiden aus Edelstahl erhältlich
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PZS 2 – Beschreibung
Beim PZS 2 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.
Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.
Technische Daten
| PZS Serie | EINHEIT | PZS 2 |
|---|---|---|
| Art. # | – | O-102-00 |
| Öffnung (±10%)* | μm | 0 to 60 |
| Kapazität (± 20%) | μF | 0.7 |
| Auflösung Open-Loop** | nm | 0.01 |
| Resonanzfrequenz | Hz | 1400 |
| Maße (L x B x H) | mm | 22 x 22 x 9.5 |
| Gewicht | g | 100 |
