Wafer Positioning

To design, manufacture and test - piezo solutions offer nanometer positioning

Bei der Lithografie, der Inspektion und dem Dicing von Halbleiterwafern ist die genaue Positionierung des Wafers entscheidend.  Die heutige Roadmap besteht aus Merkmalen im einstelligen Nanometerbereich, was bedeutet, dass das zur Erzeugung dieser Merkmale erforderliche Positionierungssystem eine noch geringere Auflösung haben muss.  Piezoaktoren sind die perfekten Werkzeuge für diese extrem präzise und genaue Positionierung.

Piezoaktoren werden als OEM-Komponente in einer Vielzahl von Halbleiterproduktionsmaschinen eingesetzt.  Piezotische bewegen den Wafer bei Bedarf in Sub-Nanometer-Schritten nach Ausrichtungsmarken oder manueller Einstellung durch einen Bediener.

Piezotische von piezosystem jena nutzen ein FEM-optimiertes Flex-Scharnier-Design, um höchste Performance bei diesem Wafer-Positionierungsprozess zu gewährleisten.  Die Vorteile umfassen:

  • Die Festkörperbauweise verhindert mechanische Abnutzung und gewährleistet eine lange und konstante Lebensdauer des Piezos.
  • Die Piezo-Tische sind auf hohe Geradheit optimiert, um unerwünschte Translationsbewegungen zu verhindern.
  • Sie können in Vakuum- oder UHV-Umgebungen eingesetzt werden, was bei der Waferherstellung erforderlich ist.

Software, Steuerungen und Wafer-Positionierer arbeiten zusammen, um Wafer für das Testen, Prüfen und Schneiden sorgfältig auszurichten.

Neben einem breiten Angebot an kommerziellen Standardtischen hat piezosystem jena auch Tische speziell für die Waferpositionierung entwickelt.  Dazu gehören der PZ 250 CAP WL Z-Positionierer und der 3-Achsen TRITOR 320. Kundenspezifische Piezokomponenten als OEM für Halbleiterequipment sind immer eine Option für Diskussionen.

Passende Produkte

PZ 250 CAP – Wafer Positioner

Mehr erfahren

MIPOS Lösungen- Objektpositionierer

Mehr erfahren

TRITOR 320 – 3-Achs-Positioniersystem

Mehr erfahren

MIPOS 100 – Objektivpositionierer

Mehr erfahren