TRITOR 320

  • 3D Piezotisch bis 20 kg belastbar
  • Hub 40/40/320 µm in XYZ
  • geringe Einschwingzeit
  • geringe Bahnabweichung
  • 0.8 nm Auflösung
  • 150 x 150 mm zentrale Apertur
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Beschreibung

Die Fähigkeit, Lasten bis zu 20 kg zu bewegen, macht den TRITOR 320 zu einem der robustesten, piezobetriebenen 3D-Positioniertische auf dem Markt. Der Tisch kann mit integriertem Messsystem zur Steuerung im Closed Loop ausgestattet werden. Das einzigartige Design der monolithischen Festkörpergelenke ermöglicht einen hervorragenden spiel- und verschleißfreien Einsatz.

Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 320 ideal für Präzisionspositionierung hoher Lasten im Nanometerbereich – etwa Wafer Chucks, Bonding Tools und Pick & Place Systeme.

Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und genauer auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nur durch das Signalrauschen des Controllers begrenzt. Daher sind Piezosysteme eine ausgezeichnete Wahl für Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Optik, Waferhandling, medizinischen Geräten und anderen. Jede Achse kann separat im Closed Loop-Modus gesteuert werden. Ein optional integrierbares Messsystem garantiert Genauigkeit im Nanometerbereich.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 320TRITOR 320 CAP
Art. #T-406-70T-406-76
AchsenX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm50/50/40050/50/400
Stellweg im Closed Loop*μm40/40/320
Auflösung** (Open Loop Mode)nm0.1/0.1/0.80.1/0.1/0.8
Auflösung** (Closed Loop Mode)nm1
Maße (L x B x H)mm320 x 320 x 55320 x 320 x 55
Gewichtg80008000
*Typische Werte mit d-Drive Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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