TRITOR 320 – Beschreibung

Die Fähigkeit, Lasten bis zu 20 kg zu bewegen, macht den TRITOR 320 zu einem der robustesten, piezobetriebenen 3D-Positioniertische auf dem Markt. Der Tisch kann mit integriertem Messsystem zur Steuerung im Closed-Loop ausgestattet werden. Das einzigartige Design der monolithischen Festkörpergelenke ermöglicht einen hervorragenden spiel- und verschleißfreien Einsatz.

Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 320 ideal für Präzisionspositionierung hoher Lasten im Nanometerbereich – etwa Wafer Chucks, Bonding Tools und Pick & Place Systeme.

Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und genauer auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nur durch das Signalrauschen des Controllers begrenzt. Daher sind Piezosysteme eine ausgezeichnete Wahl für Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Optik, Waferhandling, medizinischen Geräten und anderen. Jede Achse kann separat im Closed Loop-Modus gesteuert werden. Ein optional integrierbares Messsystem garantiert Genauigkeit im Nanometerbereich.

Dynamische Scan-Anwendungen sind eine typische Anwendung von TRITOR-Tischen. Die gleichzeitige Bewegung in X-, Y- und Z-Richtung bietet einen großen Freiheitsgrad. Alle Tische der TRITOR-Serie können mit speziellen Materialien für einzigartige Vakuum- oder Tieftemperaturanwendungen hergestellt werden.