PZ 250 CAP WL
- Positionierung im Millisekundenbereich
- Positionierschritte im einstelligen Nanometerbereich
- Positionsstabilität von wenigen Nanometern
- sehr hohe Wiederholgenauigkeit
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PZ 250 CAP – Beschreibung
Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed-loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. Ausgestattet mit einem kapazitiven Sensor, der Hysterese und Drift überwindet, sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Vorgegebene Positionen können mit hoher Stabilität über lange Zeiträume gehalten werden. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit kann der PZ 250 CAP WL mit bis zu 3 kg belastet werden.
Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Solarzellenherstellung, Lithografie und Oberflächeninspektion hervorragend geeignet.
Technische Daten
| EINHEIT | PZ 250 CAP WL | |
|---|---|---|
| Art. # | S-627-51 D | |
| Achse | Z | |
| Bewegung im Open-Loop (±10%)* | μm | 350 |
| Bewegung im Closed-Loop* | μm | 250 |
| Auflösung** | nm | 3 |
| Maße (L x B x H) | mm | 400 x 380 x 20 |
| Gewicht | g | 2500 |
