PZ 250 CAP – Beschreibung

Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed-loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. Ausgestattet mit einem kapazitiven Sensor, der Hysterese und Drift überwindet, sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Vorgegebene Positionen können mit hoher Stabilität über lange Zeiträume gehalten werden. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit kann der PZ 250 CAP WL mit bis zu 3 kg belastet werden.

Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Solarzellenherstellung, Lithografie und Oberflächeninspektion hervorragend geeignet.