PZ 250 CAP WL

  • Positionierung im Millisekundenbereich
  • Positionierschritte im einstelligen Nanometerbereich
  • Positionsstabilität von wenigen Nanometern
  • sehr hohe Wiederholgenauigkeit
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Beschreibung

Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed-loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. Ausgestattet mit einem kapazitiven Sensor, der Hysterese und Drift überwindet, sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Vorgegebene Positionen können mit hoher Stabilität über lange Zeiträume gehalten werden. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit kann der PZ 250 CAP WL mit bis zu 3 kg belastet werden.

Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Solarzellenherstellung, Lithografie und Oberflächeninspektion hervorragend geeignet.

Technische Daten

EINHEITPZ 250 CAP WL
Art. #S-627-51 D
AchseZ
Bewegung im Open Loop (±10%)*μm350
Bewegung im Closed Loop*μm250
Auflösung**nm3
Maße (L x B x H)mm400 x 380 x 20
Gewichtg2500
*Typischer Wert mit 30DV50 Verstärker gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

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