nanoSXY 120

  • Stellbereich 120/100 µm (open loop/closed loop)
  • sub-nm Auflösung
  • Hervorragende Führungsgenauigkeit
  • hohe Z-Achsen-Steifigkeit
  • Ø 12.5 mm Innenapertur
  • kompaktes Design
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Beschreibung

Der nanoSXY 120 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für große Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einem freien Innendurchmesser von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination mit einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten mit einer Auflösung von 0.25 nm bewegen. Dieses Design sichert extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert aktiv die Einschwingzeit. Der nanoSXY 120 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im closed-loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamischer Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Technische Daten

EINHEITnanoSXY 120nanoSXY 120 CAP
Art. #T-223-00T-223-06
AchseX, YX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm120
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm100
Auflösung Open Loop**nm0.24
Auflösung Closed Loop**nm1.0
Maße (L x B x H)mm60 x 60 x 2060 x 87 x 30
Gewichtg250350
*Typische Werte gemessen mit 30V300 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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