hohe Resonanzfrequenz für schnelle Zeilenvorschübe beim Scannen
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PXY 102 – Beschreibung
Der kompakte PXY 102 Piezotisch erreicht im Open-Loop-Betrieb bis zu 100 µm Stellweg auf der X- und Y-Achse. Das einzigartige würfelförmige, mechanische Design ermöglicht spielfreie, parallele Bewegungen.
Der PXY 102 eignet sich für zahlreiche Applikationen, von der Forschung optischer Systeme bis hin zu OEM-Systemen. Die Ausrichtung von Sonden in Mikroskopen erfordert in der Regel eine Apertur für den Durchgang von Licht. Der freie Innendurchmesser von 40 mm macht diesen Piezo-Positionierer besonders für diese Anwendungen interessant.
Hohe Steifigkeit und präzise Linearität der Bewegung machen den PXY 102 ideal für hochpräzise Anwendungen im Nanometerbereich in der Optik, Lasertechnik und allen anderen Arten von hochauflösenden Positionieranwendungen.
Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und mit einer höheren Genauigkeit auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Jede Achse kann separat im Closed-Loop-Modus gesteuert werden. Optional kann ein Sensorsystem integriert werden, welches die Genauigkeit im Nanometerbereich garantiert. Simultane Bewegungen in XY-Richtung sind möglich. Kryo- und Vakuumausführungen sind optional verfügbar.
Technische Daten
EINHEIT
PXY 102
PXY 102 SG
PXY 102 CAP
Art. #
T-205-10
T-205-11
T-205-16
Achse
X, Y
X, Y
X, Y
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
100
100
100
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
–
80
80
Auflösung Open-Loop**
nm
0.2
0.2
0.2
Auflösung Closed-Loop**
–
2
1
Maße (L x B x H)
mm
80 x 80 x 30
80 x 80 x 30
80 x 80 x 30
Gewicht
g
520
610
700
*typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller. **Die Auflösung wird nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.