PXY 100

  • präzise Parallelbewegung
  • Hub bis 100 µm
  • Bewegung ohne mechanisches Spiel
  • einfach kombinierbar mit anderen Systemen
  • Präzisionsstiftlöcher für genaue Justierung
  • hohe Dynamik
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Beschreibung

Die PXY 100 Serie nutzt Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung, um eine spielfreie, hochparallele Bewegung in X- und Y-Richtung zu ermöglichen. Damit werden Auflösungen erreicht, die jene mechanischer und elektromechanischer Präzisionsführungen weit übertreffen.

Die Piezo-Positionierer der Serie PXY 200 lassen sich problemlos mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen der verschiedensten Hersteller kombinieren. Optional werden Systeme mit integrierten Wegsensoren (DMS, CAP) angeboten, um Hystereseeffekte zu korrigieren. Kryo- und Vakuumausführungen sind optional verfügbar.

Die Positioniersysteme können dynamisch betrieben werden und eignen sich sehr gut zum Einsatz bei Scanfunktionen.

Technische Daten

EINHEITPXY 100PXY 100 SGPXY 100 CAP
Art. #T-203-00T-203-01T-203-06
AchseX, YX, YX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm100100100
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*8080
Auflösung Open Loop**nm0.20.20.2
Auflösung Closed Loop**21
Maße (L x B x H)mm40 x 40 x 2060 x 60 x 2165 x 65 x 20
Gewichtg102175300
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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