MIPOS 16 – Beschreibung

Der Piezopositionierer MIPOS 16 ist speziell für die präzise Positionierung von Optiken mit einer Genauigkeit im Bereich einzelner Lichtwellenlängen konzipiert. Durch die hohe Auflösung und die schnelle Reaktionszeit ergeben sich besonders für die Interferometrie interessante Anwendungsmöglichkeiten.

Mit seinem einzigartigen Design, das eine Innenöffnung von bis zu 104 mm und eine Tischhöhe von bis zu 42 mm umfasst, bietet der MIPOS 16 technische Spezifikationen, die den Anforderungen der Weißlichtinterferometrie entsprechen. Auf dem Gebiet der 3D Messung von Oberflächen ist die Weißlichtinterferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich inzwischen zwar etabliert, Messzeiten und Genauigkeit können aber dank der quasi unbegrenzten Auflösung und der hohen Reaktionsgeschwindigkeit piezoelektrischer Aktoren weiter verbessert werden. Der MIPOS 16 kann einen Fokusbereich von bis zu 16 µm und eine Einzelschrittauflösung von weniger als 0,1 nm erreichen, während er in einem Spannungsbereich zwischen 20 und 130 V arbeitet.

Der MIPOS 16 ist für die Integration in messtechnische Aufbauten und Geräte konzipiert. Der robuste Antrieb ist mit einem hochauflösenden piezobasierten Aktuatorsystem ausgestattet. Die interne mechanische Vorspannung ermöglicht den Betrieb des MIPOS in hochdynamischen Umgebungen und reduziert die Einschwingzeit auf Mikrosekunden.