MIPOS 16

  • 16 µm Verfahrbereich (Open-Loop)
  • große Innenöffnung
  • hohe Steifigkeit für schnellste Positionierung
  • typische Schrittauflösung 0.04 nm
  • Zusatzlast montierbar bis 3 kg
  • für 4" und 6" Objektive (andere auf Anfrage)
  • horizonale Montage empfohlen
Zur Anfrage hinzufügen

Beschreibung

Der Piezopositionierer MIPOS 16 ist speziell für die präzise Positionierung von Optiken mit einer Genauigkeit im Bereich einzelner Lichtwellenlängen konzipiert. Durch die hohe Auflösung und die schnelle Reaktionszeit ergeben sich besonders für die Interferometrie interessante Anwendungsmöglichkeiten.

Mit seinem einzigartigen Design, das eine Innenöffnung von bis zu 104 mm und eine Tischhöhe von bis zu 42 mm umfasst, bietet der MIPOS 16 technische Spezifikationen, die den Anforderungen der Weißlichtinterferometrie entsprechen. Auf dem Gebiet der 3D Messung von Oberflächen ist die Weißlichtinterferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich inzwischen zwar etabliert, Messzeiten und Genauigkeit können aber dank der quasi unbegrenzten Auflösung und der hohen Reaktionsgeschwindigkeit piezoelektrischer Aktoren weiter verbessert werden. Der MIPOS 16 kann einen Fokusbereich von bis zu 16 µm und eine Einzelschrittauflösung von weniger als 0,1 nm erreichen, während er in einem Spannungsbereich zwischen 20 und 130 V arbeitet.

Der MIPOS 16 ist für die Integration in messtechnische Aufbauten und Geräte konzipiert. Der robuste Antrieb ist mit einem hochauflösenden piezobasierten Aktuatorsystem ausgestattet. Die interne mechanische Vorspannung ermöglicht den Betrieb des MIPOS in hochdynamischen Umgebungen und reduziert die Einschwingzeit auf Mikrosekunden.

Technische Daten

MIPOS SerieEinheitMIPOS 16-158MIPOS 16 M85
Art. #O-309-50O-309-10
AchseZZ
Hub Open Loop (±10%)*μm1616
Auflösung Open Loop**nm0.040.04
Maße (L x B x H)mm158 x 4293 x 50
Gewichtg1240300
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

Ähnliche Produkte

NV200/D Net Compact Controller

mehr erfahren

TRITOR 100

mehr erfahren

MIPOS 100

mehr erfahren

Serie PA, PAT & PAHL

mehr erfahren