PX 100

  • Präzise Parallelbewegung
  • Stellbereich bis 100 µm
  • Bewegung frei von mechanischem Spiel
  • einfach kombinierbar zu anderen piezoelektrischen Systemen
  • Präzisionsstiftlöcher für genaue Justierung
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Beschreibung

Das Festkörpergelenksystem und die Parallelogrammkonstruktion der PX 100-Piezotische ermöglichen eine Bewegung ohne mechanisches Spiel. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 100-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Der PX 100 kann mit integrierten Messsystemen ausgestattet werden, die die Hysterese kompensieren. Abhängig von der genauen Systemkonfiguration ist eine genaue Wiederholgenauigkeit im unteren Nanometerbereich möglich.

Aufgrund der integrierten mechanischen Vorspannung können diese Systeme dynamisch betrieben werden. Sie eignen sich daher gut für Scananwendungen in der Optik, Halbleitertechnik und molekularbiologische Anwendungen.

Technische Daten

EINHEITPX 100PX 100 SG
Art. #T-104-00T-104-01
AchseXX
Bewegung im Open Loop (±10%)*μm100100
Bewegung im Closed Loop (±0,2%)*μm80
Auflösung Open Loop**nm0.20.2
Auflösung Closed Loop**nm2
Maße (L x B x H)mm40 x 40 x 2040 x 40 x 20
Gewichtg8590
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

Applications

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