Hohe mechanische Stabilität durch hohe Steifigkeit
präzise Parallelbewegung durch Parallelogramm-Design
Bewegung ohne mechanisches Spiel
Hohe Auflösung im nm- und sub-nm-Bereich
Stellbereich bis 40 µm
Integrierte Wegübersetzung
X,Y & X, Y, Z-Konfigurationen möglich
Präzisionsstiftlöcher für genaue Justierung
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PU 40 – Beschreibung
Der PU 40 besteht vollständig aus Edelstahl, wodurch hohe Stabilität erreicht wird und ist für dynamischen Einsatz geeignet.
Der Piezotisch zeigt eine nahezu lineare Bewegung bei einem angelegten Spannungssignal von -20 bis 130 V.
Durch die flexible Kombinationsmöglichkeit können bis zu 3 dieser Piezoantriebe zu einer X, Y, Z Mikro-Positioniereinheit vereint werden. Der Piezotisch ist mit Gewinden für die Montage ausgestattet. Jedes Piezosystem wird mit den notwendigen Schrauben für eine Mehrachsenkonfiguration geliefert.
Technische Daten
EINHEIT
PU 40
PU 40 SG
Art. #
T-506-00
T-506-01
Achse
1
1
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
40
40
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*
μm
–
32
Auflösung Open-Loop**
nm
0.08
–
Auflösung Closed-Loop**
nm
–
0.8
Maße (L x B x H)
mm
28.5 x 14 x 14
28.5 x 14 x 14
Maße
g
27
27
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.