PZ 400 OEM

  • Hub bis zu 400 µm
  • präzise Parallelbewegung
  • Bewegung ohne mechanisches Spiel
  • einfach kombinierbar mit anderen Systemen
  • hohe Dynamik durch mechanische Vorspannung
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Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 400 OEM Piezotisches erzeugt ein parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auflösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 400 OEM dynamisch zu betreiben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 400 OEMPZ 400 SG OEM
Art. #S-628-00S-628-01
AchseZZ
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm400400
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm320
Auflösung Open Loop**nm0.80.8
Auflösung Closed Loop**nm8
Maße (L x B x H)mm66 x 20 x 2466 x 20 x 27.5
Gewichtg155175
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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