Hohe mechanische Stabilität durch hohe Steifigkeit
genaue Parallelbewegung durch Parallelogramm-Design
Bewegung ohne mechanisches Spiel
Hohe Auflösung im nm- und sub-nm-Bereich
Stellbereich bis 100 µm
Integrierte Wegübersetzung
XY- & XYZ-Konfigurationen möglich
Präzisionsstiftlöcher für genaue Justierung
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PU 100 – Beschreibung
Der PU 100 besteht vollständig aus Edelstahl, wodurch hohe Stabilität erreicht wird und ist für den dynamischen Einsatz geeignet.
Der Piezotisch zeigt eine nahezu lineare Bewegung bei einem angelegten Spannungssignal von -20 bis 130 V.
Durch die flexible Kombinationsmöglichkeit können bis zu 3 dieser Piezoantriebe zu einer XYZ Mikro-Positioniereinheit vereint werden. Der Piezotisch ist mit Gewinden für die Montage ausgestattet. Jedes Piezosystem wird mit den notwendigen Schrauben für eine Mehrachsenkonfiguration geliefert.
Technische Daten
EINHEIT
PU 100
PU 100 SG
Art. #
T-502-00
T-502-01
Achse
1
1
Stellweg im Open Loop (±10%)*
μm
100
100
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*
μm
–
80
Auflösung Open Loop**
nm
0.2
0.2
Auflösung Closed Loop**
nm
–
2.0
Maße (L x B x H)
mm
50.5 x 25 x 25
50.5 x 25 x 25
Gewicht
g
72
74
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.