PZ 200
- Hub bis zu 200 µm
- präzise Parallelbewegung durch Festkörpergelenke
- Bewegung ohne mechanisches Spiel
- einfach kombinierbar mit anderen Systemen
- hohe Dynamik durch mechanische Vorspannung
Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 200 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.
Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 200 dynamisch zu betreiben.
Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.
EINHEIT | PZ 200 | PZ 200 SG | |
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Art. # | S-626-00 | S-626-01 | |
Achse | Z | Z | |
Stellweg im Open-Loop (±10%)* | μm | 200 | 200 |
Stelweg im Closed-Loop (±0,2%)* | μm | – | 160 |
Auflösung Open-Loop** | nm | 0.4 | 0.4 |
Auflösung Closed-Loop** | nm | – | 4 |
Maße (L x B x H) | mm | 50 x 16 x 17 | 50 x 16 x 21 |
Gewicht | g | 140 | 165 |