PZ 200

  • Hub bis zu 200 µm
  • präzise Parallelbewegung durch Festkörpergelenke
  • Bewegung ohne mechanisches Spiel
  • einfach kombinierbar mit anderen Systemen
  • hohe Dynamik durch mechanische Vorspannung
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Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 200 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 200 dynamisch zu betreiben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 200PZ 200 SG
Art. #S-626-00S-626-01
AchseZZ
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm200200
Stelweg im Closed Loop (±0,2%)*μm160
Auflösung Open Loop**nm0.40.4
Auflösung Closed Loop**nm4
Maße (L x B x H)mm50 x 16 x 1750 x 16 x 21
Gewichtg140165
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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