nanoSX 800

  • Hub bis zu 900 µm
  • Innenapertur Ø 12.5 mm
  • sub-nm Auflsöung
  • Extreme Führungsgenauigkeit
  • hohe Tragfähigkeit
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Beschreibung

Der nanoSX 800 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für lange Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einer Innenapertur von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination zu einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten bewegen. Dieses Design sorgt für extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert die Einschwingzeit.

Der nanoSX 800 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im closed-loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösende Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamische Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Technische Daten

EINHEITnanoSX 800nanoSX 800 CAPnanoSX 800 CAP Digital
Art. #T-128-00T-125-06ET-128-06D
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm900900900
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm800800
Auflösung**nm1.644
Maße (L x B x H)mm60 x 20 x 6060 x 30 x 7560 x 30 x 75
Gewichtg300410410
*Typische Werte gemessen mit ENV40 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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