nanoX 200

  • 240 µm Hub
  • geeignet für hochdynamische Anwendungen
  • hervorragende Führungsgenauigkeit
  • Auflösung 0.4 nm
  • Innenapertur Ø 3 mm
  • Vakuum- und Tieftemperaturausführung erhältlich
  • Gehäusevarianten aus Invar, Superinvar, Aluminium und Titan verfügbar
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Beschreibung

Die Piezo Stages der Serie nanoX®200 sind für die ultraschnelle Nanopositionierung von großen Lasten konzipiert. Sie garantieren  einen Positionier- und Scanbereich bis 240 µm. Die zentral gelagerte freie Apertur erlaubt laseroptische Anwendungen, bei denen der Strahl durch das System geht – auch bei Stapelung in XY-Konfiguration. Die nanoX-Serie ist für Nanopositionieraufgaben in den Bereichen Halbleiter, Laser & Optik sowie Tests & Messungen konzipiert.

Unsere Piezotische sind aufgrund ihres strukturellen Aufbaus hervorragend temperaturkompensiert. Wie alle Piezo-Nanopositionierer von piezosystem jena, arbeitet der nanoX®200 aufgrund der drahterodierten, monolithischen Festkörpergelenke spiel- und reibungsfrei.

Die hohe Eigensteifigkeit der Piezoantriebe ist gepaart mit einer exzellenten Führungsgenauigkeit. Piezotische und -positionierer werden weder von Magnetfeldern beeinflusst noch erzeugen sie solche. In kryogenen Umgebungen funktionieren Piezoaktoren bis zu einer Temperatur von fast null Kelvin. Diese niedrige Temperatur ist mit einem linear abnehmenden Dehnungsverhalten verbunden. Unter Vakuumbedingungen können Piezoaktoren und PZT-Keramiken bei einem Druck von unter 10 Pa eingesetzt werden.

Aufgrund der stark reduzierten dielektrischen Durchschlagsfestigkeit von Luft sollten sie nicht im Druckbereich von 10 Pa bis 10 kPa betrieben werden. Um Kriechen und Hysterese zu vermeiden, sind die Piezo-Nanopositionierer nanoX® 200SG oder nanoX® 200CAP mit einem hochauflösenden Messsensor ausgestattet. In Kombination mit dem piezosystem jena Controller wird eine hohe Stabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit im Closed-Loop-Betrieb erreicht.

Die kompakten Abmessungen, sowie vorhandene Befestigungsraster mit Stift- und Gewindebohrungen in Grund- und Deckplatte der Piezo Tische ermöglichen eine problemlose Integration in bestehende Systeme. Auf Anfrage sind Vakuum- und Tieftemperaturausführung erhältlich, ebenso wie Gehäusevarianten aus Invar, Superinvar, Aluminium und Titan.

Technische Daten

EINHEITnanoX 200nanoX 200 SGnanoX 200 CAP
Art. #T-106-20T-106-21T-106-26
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm240240240
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm200200
Auflösung Open Loop**nm0.40.40.4
Auflösung Closed Loop**nm41
Maße (L x B x H)mm52 x 52 x 2252 x 70 x 2252 x 70 x 22
Gewichtg175190300
*Typische Werte gemessen mit 30V300 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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