PZ 38

  • Hub bis zu 38µm
  • integrierte Wegübersetzung
  • nm-Auflösung
  • einfache Justage
  • integrierte Vorspannung
  • für dynamische Applikation
  • hohe Resonanzfrequenz
  • einfach kombinierbar mit anderen Systemen
  • vakuumkompatibel
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Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 38 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 38 dynamisch zu betrieben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 38PZ 38 SGPZ 38 CAP
Art. #T-102-00T-102-01T-102-06
AchseZZZ
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm38
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm3232
Auflösung Open Loop**nm0.08
Auflösung Closed Loop**nm0.70.7
Maße (L x B x H)mm25 x 25 x 1840 x 40 x 2532 x 25 x 22
Gewichtg4077100
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

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