Die Piezoaktoren der Serie N sind für industrielle Anwendungen konzipiert. Sie bestehen aus kontaktierten Stapelkeramiken. Die Elektroden sind auf beiden Seiten der Keramikschichten angeordnet. Sie sind durch ein flexibles Isolationsmaterial geschützt, um eine lange Lebensdauer und höchstmögliche dynamische Leistung unter härtesten Anforderungen zu garantieren. Aufgrund ihres Aufbaus sind sie ideal für eine Integration in kundenspezifische Anwendungen für den OEM-Einsatz geeignet. Sonderausführungen werden mit einer zentrischen Bohrung gefertigt.
Piezosystem jena verwendet eine flexible Polymerisolation, die besonders in dynamischen Applikationen eine hohe Zuverlässigkeit garantiert. Der Vorteil im Vergleich zu keramischen Isolationsmaterialien ist die Elastizität der Isolation. Piezoaktoren, die seit über 20 Jahren unter extremer Belastung im Dauertest arbeiten, bestätigen diese Technologie. Standardaktoren (ausgenommen P-211 bis P-213) werden zum Schutz des Kabelaustritts mit einem Schrumpfschlauch überzogen. Damit erfolgt ein zusätzlicher Schutz der empfindlichen Keramik gegen Berührungen sowie ein mechanischer Schutz der Kabelkontakte.
Es ist darauf zu achten, dass der Aktor während der Montage und des Betriebes keinen seitlichen Druck- bzw. Zugkräften ausgesetzt wird. Die Stapelkeramiken sind nicht vorgespannt. Eine Vorspannung wird bei dynamischen Anwendungen oder bei Anwendungen mit hohen Beschleunigungskräften empfohlen.
Die Standardkabellänge beträgt 100 mm. Als Option sind flache Endplatten aus Wolframkarbid oder mit Kugelkopf erhältlich. Bitte beachten Sie, dass bei Betrieb unter Tieftemperaturbedingungen (4 K) nur ca. 10 % des Standard-Hubs erreichbar ist.
Die Piezoaktoren der Serie N werden seit mehr als 15 Jahren erfolgreich in einer Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Nanometrologie, Halbleiter, Materialwissenschaften und Scanning-Anwendungen eingesetzt.
Technische Daten
(Alle Produktvariationen in der PDF unter dieser Tabelle)
4 Beispielprodukte
EINHEIT
N 2/5
N 25/S3.5
N 100/S5
N 120/S10
Art. #
P-211-00
P-217-40
P-207-40
P-237-40
Hub (±10%)*
μm
2
30
103
123
Kapazität (±20%)**
μF
0.1
1.2
9.0
36.4
Steifigkeit
N/μm
250
14
8
28
Auflösung ***
nm
0.004
0.06
0.2
0.25
Maße – L x B x H
mm
L = 5
27 x 5.5 x 7.5
108 x 7 x 9
108 x 12 x 14
Durchmesser
mm
5
–
–
–
*typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller. ** typische Werte für Kleinsignalkapazität. ***Die Auflösung wird nur durch das Rauschen des Controllers begrenzt.
Optische Systeme benötigen häufig eine zentrale Öffnung zum Durchführen von Licht. Für solche Anwendungen wurde der PENTOR mit einer 17mm Durchgangsöffnung entwickelt. Er bietet 100µm Hub in XYZ, sowie einem Kippwinkel von ±2 mrad in zwei orthogonal angeordneten Achsen.
Festkörpergelenke in den drei Achsen sorgen für eine hochparallele Positionierung über den gesamten Verfahrbereich. Jede Achse ist mit einer mechanischen Vorspannung ausgestattet, wodurch der PENTOR ideal für dynamische Anwendungen ist. Das Kippsystem ist für Plus-Minus-Verkippung ausgelegt.
Aufgrund der Temperaturkompensation der Konstruktion ist der Kippwinkel unabhängig von der Umgebungstemperatur. Die Spiegelhalterungen sind vorgespannt und weisen eine hohe Steifigkeit und Resonanzfrequenz auf – so ist ein dynamischer Betrieb möglich. Die Hauptkomponenten sind mit Festkörpergelenken aus rostfreiem Stahl konstruiert. Deck- und Bodenplatte bestehen aus schwarz eloxiertem Aluminium.
Optional kann der 5-Achs PENTOR mit einem DMS-Messsystem ausgestattet werden.
Der TRITOR 400 kann Parallelbewegungen bis 400 µm auf allen drei Achsen realisieren. Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 400 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.
Typische Einsatzbereiche des TRITOR 400 sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade.
Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf einen mechanischen Grundaufbau befestigt – dies ist wichtig beim Einsatz für dynamische Anwendungen. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Der TRITOR 400 ist auch für hochdynamische Anwendungen ausgelegt.
Der TRITOR 400 kann in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan gefertigt werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind optional verfügbar.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 400
TRITOR 400 SG
TRITOR 400 CAP
Art. #
T-406-00
T-406-01
T-406-06
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
400
400
400
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
320
320
Auflösung im Open-Loop**
nm
0.8
0.8
0.8
Auflösung im Closed-Loop**
nm
–
35
1
Maße (L x B x H)
mm
116 x 106 x 40
116.6 x 106.5 x 40
116 x 106 x 40
Gewicht
g
1050
1050
1100
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der TRITOR 100 kann Parallelbewegungen bis 100 µm auf allen drei Achsen realisieren. Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 100 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.
Typische Einsatzbereiche des TRITOR 100 sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade.
Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf einen mechanischen Grundaufbau befestigt – dies ist wichtig beim Einsatz für dynamische Anwendungen. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Der TRITOR 100 ist auch für hochdynamische Anwendungen ausgelegt.
Der TRITOR 100 kann in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan gefertigt werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind optional verfügbar.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 100
TRITOR 100 SG
TRITOR 100 CAP
Art. #
T-403-00
T-403-21
T-403-06
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
100
100
100
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
80
80
Auflösung**
nm
0.2
2.0
1.0
Maße (L x B x H)
mm
40 x 40 x 34
40 x 40 x 34
65 x 65 x 44
Gewicht
g
165
160
550
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der TRITOR 101 und TRITOR 102 sind extrem kompakte Lösungen, die bis zu 100 μm in XYZ–Richtung ermöglichen. Das einzigartige würfelförmige, mechanische Design ermöglicht spielfreie Bewegungen. Sie eignen sich für viele Anwendungen, von der Forschung optischer Elemente bis zur Integration in OEM-Systeme.
Die Ausrichtung von Proben unter Mikroskopen erfordert in der Regel einen zentralen Durchgang von Licht. Der freie Innendurchmesser von 30 mm, (TRITOR 101) und 40 mm (TRITOR 102) machen diese Piezopositionierer daher besonders interessant für Mikroskopie- und für Scan–Applikationen.
Die hohe Steifigkeit in Kombination mit der exzellenten Führungsgenauigkeit macht die TRITOR-Serie ideal für hohe Präzision im Nanometerbereich für Optiken, Laseranwendungen und jede andere Art von hochauflösenden Positionieranwendungen.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 101
TRITOR 101 SG
TRITOR 102
TRITOR 102 SG
Art. #
T-404-00
T-404-01
T-405-00
T-405-01
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*
μm
100
100
100
100
Stellweg im Closed Loop*
μm
–
80
–
80
Auflösung**
nm
0.2
2
0.2
2
Maße (L x B x H)
mm
68 x 68 x 30
68 x 68 x 30
80 x 80 x 30
80 x 80 x 30
Gewicht
g
480
570
520
610
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
