Der einzigartige 3D-XYZ-Nanopositionierer TRITOR 38 nutzt extrem kompakte Elemente, um eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel zu erreichen. Trotz der minimalen Abmessungen können Bewegungen von bis zu 38 µm auf allen drei Achsen realisiert werden. Die Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.
Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 38 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.
Der TRITOR 38 kann einfach mit anderen mechanischen oder elektromagnetischen Positioniersystemen höchster Auflösung kombiniert werden. Aufgrund seines Designs eignet sich der TRITOR 38 für dynamische Anwendungen.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 38
TRITOR 38 SG
Art. #
T-402-00
T-402-01
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
38
38
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
30
Auflösung Open-Loop**
nm
0.07
0.07
Auflösung Closed-Loop**
nm
–
0.8
Maße (L x B x H)
mm
25 x 25 x 25
40 x 40 x 33.5
Gewicht
g
115
130
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Das 3D Piezo-Positioniersystem miniTRITOR zeichnet sich besonders durch sein einzigartiges Design aus. Mit der enorm kompakten Konstruktion ermöglichen die Piezoelemente zuverlässige, spielfreie, parallele Bewegungen in X-, Y- und Z-Richtung. Der Stellbereich liegt trotz der minimalen Abmessungen bei bis zu 38µm pro Achse. Die erreichbare Auflösung liegt im sub-nm Bereich.
Die miniTRITOR-Piezoelementelassen sich unkompliziert mit mechanischen oder elektromagnetischen Antrieben zu Positioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren.
Technische Daten
EINHEIT
miniTRITOR
Art. #
T-401-00
Achsen
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
38
Auflösung Open-Loop**
nm
0.07
Maße (L x B x H)
mm
19 x 19 x 16
Gewicht
g
57
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der einzigartige 3D-XYZ-Nanopositionierer microTRITOR nutzt extrem kompakte Elemente, um eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel zu erreichen. Trotz der minimalen Abmessungen können Bewegungen von bis zu 9 µm auf allen drei Achsen realisiert werden. Die Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.
Der microTRITOR kann einfach mit anderen mechanischen oder elektromagnetischen Positioniersystemen höchster Auflösung kombiniert werden. Aufgrund seines Designs eignet sich der microTRITOR für dynamische Anwendungen.
Technische Daten
EINHEIT
microTRITOR
Art. #
T-400-00
Achsen
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
9
Auflösung Open-Loop**
nm
0.02
Maße (L x B x H)
mm
15 x 15 x 15
Gewicht
g
12
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der Nanopositionierer PXY 200 D12 wurde für Pixelshifting, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.
Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 200 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.
Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.
Technische Daten
UNIT
PXY 200 D12
PXY 200 D12 SG
PXY 200 D12 CAP
Art. #
S-605-20
S-605-21
S-605-26
Achse
X, Y
X, Y
X, Y
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
200
200
200
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
160
160
Auflösung Open-Loop**
nm
0.4
–
–
Auflösung Closed-Loop**
nm
–
4
1
Maße (L x B x H)
mm
57.5 x 64 x 16
57.5 x 64 x 16
75.5 x 69 x 27
Gewicht
g
160
160
225
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) . **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.
Der Nanopositionierer PXY 80 D12 wurde für Pixelshift, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.
Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 80 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.
Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.
Technische Daten
EINHEIT
PXY 80 D12
PXY 80 D12 SG
PXY 80 D12 CAP
Art. #
S-605-10
S-605-14
S-605-16
Achse
X, Y
X, Y
X, Y
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
80
80
80
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
65
65
Auflösung Open-Loop**
nm
0.16
–
–
Auflösung Closed-Loop**
nm
–
1.6
1
Maße (L x B x H)
mm
54 x 53.5 x 16
54 x 53.5 x 16
64 x 63.5 x 22
Maße
g
90
90
155
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) . **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.
