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PX 200

PX 200 – Beschreibung

Die Festkörpergelenks- und Parallelogramm-Konstruktion des PX 200 erzeugen parallele und spielfreie Bewegung auf der X- und Z-Achse. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 200-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Diese Systeme eignen sich besonders für Applikationen bei denen eine präzise und fein abstimmbare Positionierung verschiedenster Komponenten erforderlich ist, z. B. in der Halbleiterindustrie, Elektronik, Messtechnik und Mikrobiologie.

Technische Daten

EINHEITPX 200PX 200 SGPX 200 CAP
Art. #T-106-00T-106-01T-106-06
AchseXXX
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm200
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm160160
Auflösung Open-Loop**nm0.4
Auflösung Closed-Loop**nm42
Maße (L x B x H)mm52 x 48 x 2052 x 48 x 2070.5 x 48 x 20
Gewichtg175180210
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PX 100

PX 100 – Beschreibung

Das Festkörpergelenksystem und die Parallelogrammkonstruktion der PX 100-Piezotische ermöglichen eine Bewegung ohne mechanisches Spiel. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 100-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Der PX 100 kann mit integrierten Messsystemen ausgestattet werden, die die Hysterese kompensieren. Abhängig von der genauen Systemkonfiguration ist eine genaue Wiederholgenauigkeit im unteren Nanometerbereich möglich.

Aufgrund der integrierten mechanischen Vorspannung können diese Systeme dynamisch betrieben werden. Sie eignen sich daher gut für Scananwendungen in der Optik, Halbleitertechnik und molekularbiologische Anwendungen.

Technische Daten

EINHEITPX 100PX 100 SG
Art. #T-104-00T-104-01
AchseXX
Bewegung im Open Loop (±10%)*μm100100
Bewegung im Closed Loop (±0,2%)*μm80
Auflösung Open Loop**nm0.20.2
Auflösung Closed Loop**nm2
Maße (L x B x H)mm40 x 40 x 2040 x 40 x 20
Gewichtg8590
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PX 38

PX 38 – Beschreibung

PX 38-Produkte sind einachsige Positioniertische mit einem Bewegungsbereich von bis zu 38 Mikrometern. Aufgrund der Festkörpergelenke und der dadurch gebildeten Parallelogrammkonstruktion werden parallele und spielfreie Bewegungen erzeugt.

Aufgrund ihrers ultrakompakten Designs können sie einfach in OEM-Anwendungen integriert werden. Die Genauigkeit des Piezotisches basiert auf den leistungsstarken Stapelaktoren.

Aufgrund ihrer sub-nm Auflösung bewährt sich dieser Positioniertisch für Anwendungsbereiche wie die Präzisionspositionierung von optischen Komponenten wie Spiegeln und Laserdioden, die Justierung und Montage in der Halbleitertechnik und Elektronik sowie Anwendungen in der Messtechnik, Qualitätssicherung und Mikrobiologie.

Technische Daten

Series PXEINHEITPX 38PX 38 SG
Art. #T-101-00T-101-01
AchseXX
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm39
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm32
Auflösung Open-Loop**nm0.07
Auflösung Closed-Loop**nm0.7
Maße (L x B x H)mm25 x 25 x 1840 x 40 x 25
Gewichtg4077
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

MIPOS 16

MIPOS 16 – Beschreibung

Der Piezopositionierer MIPOS 16 ist speziell für die präzise Positionierung von Optiken mit einer Genauigkeit im Bereich einzelner Lichtwellenlängen konzipiert. Durch die hohe Auflösung und die schnelle Reaktionszeit ergeben sich besonders für die Interferometrie interessante Anwendungsmöglichkeiten.

Mit seinem einzigartigen Design, das eine Innenöffnung von bis zu 104 mm und eine Tischhöhe von bis zu 42 mm umfasst, bietet der MIPOS 16 technische Spezifikationen, die den Anforderungen der Weißlichtinterferometrie entsprechen. Auf dem Gebiet der 3D Messung von Oberflächen ist die Weißlichtinterferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich inzwischen zwar etabliert, Messzeiten und Genauigkeit können aber dank der quasi unbegrenzten Auflösung und der hohen Reaktionsgeschwindigkeit piezoelektrischer Aktoren weiter verbessert werden. Der MIPOS 16 kann einen Fokusbereich von bis zu 16 µm und eine Einzelschrittauflösung von weniger als 0,1 nm erreichen, während er in einem Spannungsbereich zwischen 20 und 130 V arbeitet.

Der MIPOS 16 ist für die Integration in messtechnische Aufbauten und Geräte konzipiert. Der robuste Antrieb ist mit einem hochauflösenden piezobasierten Aktuatorsystem ausgestattet. Die interne mechanische Vorspannung ermöglicht den Betrieb des MIPOS in hochdynamischen Umgebungen und reduziert die Einschwingzeit auf Mikrosekunden.

Technische Daten

MIPOS SerieEinheitMIPOS 16-158MIPOS 16 M85
Art. #O-309-50O-309-10
AchseZZ
Hub open-loop (±10%)*μm1616
Auflösung open-loop**nm0.040.04
Maße (L x B x H)mm158 x 4293 x 50
Gewichtg1240300
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

MIPOS 600 SG

MIPOS 600 SG – Beschreibung

Die Systeme MIPOS 600 OEM bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 600 µm im ungeregelten und 500 µm im geregelten Betrieb. Sie können mit Objektiven von bis zu 40mm Durchmesser eingesetzt werden

Das bewährte Parallelogrammprinzip von piezosystem jena garantiert eine hochparallele Bewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Um eine Position wiederholt und stabil ansteuern zu können, ist die Serie MIPOS SG 600 OEM mit einem integrierten Messsystem ausgerüstet. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet hohe Resonanzfrequenz sowie hochparallele Bewegung.

Basierend auf diesen einzigartigen Eigenschaften der MIPOS 600 Serie können schnelle Scan-Applikationen mit geringsten Anstiegszeiten exakt realisiert werden.

Technische Daten

Art. #O-380-01D
AchseZ
Hub open-loop (±10%)*μm600
Hub closed-loop (±0,2%)*μm500
Auflösung open-loop**nm0.9
Auflösung closed-loop**nm12
Maße (L x B x H)mm60.5 x 50 x 40.1
Gewichtg370
*Typischer Wert mit EVD125 Verstärker gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.