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PU 100

Beschreibung

Der PU 100 besteht vollständig aus Edelstahl, wodurch hohe Stabilität erreicht wird und ist für den dynamischen Einsatz geeignet.

Der Piezotisch zeigt eine nahezu lineare Bewegung bei einem angelegten Spannungssignal von -20 bis 130 V.

Durch die flexible Kombinationsmöglichkeit können bis zu 3 dieser Piezoantriebe zu einer XYZ Mikro-Positioniereinheit vereint werden. Der Piezotisch ist mit Gewinden für die Montage ausgestattet. Jedes Piezosystem wird mit den notwendigen Schrauben für eine Mehrachsenkonfiguration geliefert.

Technische Daten

EINHEITPU 100PU 100 SG
Art. #T-502-00T-502-01
Achse11
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm100100
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm80
Auflösung Open Loop**nm0.20.2
Auflösung Closed Loop**nm2.0
Maße (L x B x H)mm50.5 x 25 x 2550.5 x 25 x 25
Gewichtg7274
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PU 40

Beschreibung

Der PU 40 besteht vollständig aus Edelstahl, wodurch hohe Stabilität erreicht wird und ist für dynamischen Einsatz geeignet.

Der Piezotisch zeigt eine nahezu lineare Bewegung bei einem angelegten Spannungssignal von -20 bis 130 V.

Durch die flexible Kombinationsmöglichkeit können bis zu 3 dieser Piezoantriebe zu einer XYZ Mikro-Positioniereinheit vereint werden. Der Piezotisch ist mit Gewinden für die Montage ausgestattet. Jedes Piezosystem wird mit den notwendigen Schrauben für eine Mehrachsenkonfiguration geliefert.

Technische Daten

EINHEITPU 40PU 40 SG
Art. #T-506-00T-506-01
Achse11
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm4040
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm32
Auflösung Open Loop**nm0.08
Auflösung Closed Loop**nm0.8
Maße (L x B x H)mm28.5 x 14 x 1428.5 x 14 x 14
Maßeg2727
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PX 1500

Beschreibung

Durch die Entwicklung einer neuen Hebelübersetzung verfügt das Element PX 1500 über einen maximalen Verstellweg von 1500 μm. Somit kann dieses Produkt in einem Bereich, der typischerweise motorischen Antriebskonzepten vorbehalten ist, eingesetzt werden. 

Im Vergleich zu anderen motorischen Antrieben zeichnet sich der PX 1500 durch seine Dynamik und die hohe Positionsauflösung aus, die als Resultat der Piezoaktorik einen entscheidenden Vorteil bei der Positionierung und Langlebigkeit bietet.

Das besondere Design mit einer integrierten Hebelübersetzung mittels Festkörpergelenken und die integrierte Vorspannung ermöglichen zudem eine 100% spielfreie Bewegung und Positionierung.

Aufgrund seiner kompakten Abmessungen ist er sehr gut für OEM-Anwendungen geeignet.

Technische Daten

EINHEITPX 1500
Art.#S-622-00
Achse X
Verstellbereich im Open Loop (±10%)*μm1500
Auflösung Open Loop**nm3
Maße (L x B x H)mm87 x 34 x 13
Gewichtg98
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

PX 500

Beschreibung

Das für OEM-Anwendungen entwickelte Element PX 500 ist für die genaue Positionierung von kleineren Komponenten über einen, für Piezoantriebe verhältnismäßig großen Stellweg konzipiert. 

Aufgrund des kleinen Aufbaus kann der PX 500 auch als funktionelle Antriebseinheit integriert werden. Der Grundaufbau des Aktors besteht aus einem Piezoelement und einem spielfreien Übersetzungssystem mit Festkörpergelenken.

Der PX 500 eignet sich ideal für die Mikropositionierung optischer Komponenten, wie z. B. Spiegel und Laserdioden, oder für das Öffnen und Schließen von Mikrofluidventilen. 

Der PX 500 ist sehr kompakt und kann einfach mittels einer der vorhandenen Bohrungen (2,2mm Durchmesser) montiert werden. Die zweite Bohrung bewegt sich im Verhältnis zur ersten Bohrung.

Technische Daten

EINHEITPX 500
Art. #S-605-89
AchseX
Verstellbereich im Open Loop (±10%)*μm500
Auflösung Open Loop**nm1.2
Maße (L x B x H)mm52 x 20 x 8
Gewichtg14
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

PX 400

Beschreibung

Das Festkörpergelenkgelenksystem und die Parallelogrammkonstruktion der PX 400-Piezotische ermöglichen eine Bewegung ohne mechanisches Spiel. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 400-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Besonders im Bereich der Präzisionspositionierung und des Hochleistungsscannens bewährt sich der Positioniertisch PX 400 aufgrund seiner sub-nm Auflösung, z. B. in der Halbleiterindustrie, Elektronik, Messtechnik und Mikrobiologie.

Technische Daten

EINHEITPX 400PX 400 SGPX 400 CAP
Art. #T-108-00T-108-01T108-06
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm400
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm320320
Auflösung Open Loop**nm0.8
Auflösung Closed Loop**nm84
Maße (L x Bx H)mm52 x 48 x 2052 x 48 x 2070.7 x 48 x 20
Gewichtg175175210
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.