-- archive.php --

PZ 200

Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 200 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 200 dynamisch zu betreiben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 200PZ 200 SG
Art. #S-626-00S-626-01
AchseZZ
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm200200
Stelweg im Closed Loop (±0,2%)*μm160
Auflösung Open Loop**nm0.40.4
Auflösung Closed Loop**nm4
Maße (L x B x H)mm50 x 16 x 1750 x 16 x 21
Gewichtg140165
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PZ 38

Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 38 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 38 dynamisch zu betrieben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 38PZ 38 SGPZ 38 CAP
Art. #T-102-00T-102-01T-102-06
AchseZZZ
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm38
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm3232
Auflösung Open Loop**nm0.08
Auflösung Closed Loop**nm0.70.7
Maße (L x B x H)mm25 x 25 x 1840 x 40 x 2532 x 25 x 22
Gewichtg4077100
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

nanoSX 800

Beschreibung

Der nanoSX 800 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für lange Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einer Innenapertur von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination zu einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten bewegen. Dieses Design sorgt für extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert die Einschwingzeit.

Der nanoSX 800 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im closed-loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösende Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamische Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Technische Daten

EINHEITnanoSX 800nanoSX 800 CAPnanoSX 800 CAP Digital
Art. #T-128-00T-125-06ET-128-06D
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm900900900
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm800800
Auflösung**nm1.644
Maße (L x B x H)mm60 x 20 x 6060 x 30 x 7560 x 30 x 75
Gewichtg300410410
*Typische Werte gemessen mit ENV40 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

nanoX 400

Beschreibung

Die Piezo Stages der Serie nanoX®400 sind für die ultraschnelle Nanopositionierung von großen Lasten konzipiert. Sie garantieren  einen Positionier- und Scanbereich bis 480 µm. Die zentral gelagerte freie Apertur erlaubt laseroptische Anwendungen, bei denen der Strahl durch das System geht – auch bei Stapelung in XY-Konfiguration. Die nanoX-Serie ist für Nanopositionieraufgaben in den Bereichen Halbleiter, Laser & Optik sowie Tests & Messungen konzipiert.

Unsere Piezotische sind aufgrund ihres strukturellen Aufbaus hervorragend temperaturkompensiert. Wie alle Piezo-Nanopositionierer von piezosystem jena, arbeitet der nanoX®400 aufgrund der drahterodierten, monolithischen Festkörpergelenke spiel- und reibungsfrei.

Die hohe Eigensteifigkeit der Piezoantriebe ist gepaart mit einer exzellenten Führungsgenauigkeit. Piezotische und -positionierer werden weder von Magnetfeldern beeinflusst noch erzeugen sie solche. In kryogenen Umgebungen funktionieren Piezoaktoren bis zu einer Temperatur von fast null Kelvin. Diese niedrige Temperatur ist mit einem linear abnehmenden Dehnungsverhalten verbunden. Unter Vakuumbedingungen können Piezoaktoren und PZT-Keramiken bei einem Druck von unter 10 Pa eingesetzt werden.

Aufgrund der stark reduzierten dielektrischen Durchschlagsfestigkeit von Luft sollten sie nicht im Druckbereich von 10 Pa bis 10 kPa betrieben werden. Um Kriechen und Hysterese zu vermeiden, sind die Piezo-Nanopositionierer nanoX® 400SG oder nanoX® 400CAP mit einem hochauflösenden Messsensor ausgestattet. In Kombination mit dem piezosystem jena Controller wird eine hohe Stabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit im Closed-Loop-Betrieb erreicht.

Die kompakten Abmessungen, sowie vorhandene Befestigungsraster mit Stift- und Gewindebohrungen in Grund- und Deckplatte der Piezo Tische ermöglichen eine problemlose Integration in bestehende Systeme. Auf Anfrage sind Vakuum- und Tieftemperaturausführung erhältlich, ebenso wie Gehäusevarianten aus Invar, Superinvar, Aluminium und Titan.

Technische Daten

EINHEITnanoX 400nanoX 400 SGnanoX 400 CAP
Art. #T-108-20T-108-21T-108-26
Achse XXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm480480480
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm400400
Auflösung Open Loop**nm0.80.80.8
Auflösung Closed Loop**nm82
Maße (L x B x H)mm52 x 32 x 5252 x 32 x 5252 x 32 x 70
Gewichtg250270370
*Typische Werte gemessen mit ENV40 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

nanoX 200

Beschreibung

Die Piezo Stages der Serie nanoX®200 sind für die ultraschnelle Nanopositionierung von großen Lasten konzipiert. Sie garantieren  einen Positionier- und Scanbereich bis 240 µm. Die zentral gelagerte freie Apertur erlaubt laseroptische Anwendungen, bei denen der Strahl durch das System geht – auch bei Stapelung in XY-Konfiguration. Die nanoX-Serie ist für Nanopositionieraufgaben in den Bereichen Halbleiter, Laser & Optik sowie Tests & Messungen konzipiert.

Unsere Piezotische sind aufgrund ihres strukturellen Aufbaus hervorragend temperaturkompensiert. Wie alle Piezo-Nanopositionierer von piezosystem jena, arbeitet der nanoX®200 aufgrund der drahterodierten, monolithischen Festkörpergelenke spiel- und reibungsfrei.

Die hohe Eigensteifigkeit der Piezoantriebe ist gepaart mit einer exzellenten Führungsgenauigkeit. Piezotische und -positionierer werden weder von Magnetfeldern beeinflusst noch erzeugen sie solche. In kryogenen Umgebungen funktionieren Piezoaktoren bis zu einer Temperatur von fast null Kelvin. Diese niedrige Temperatur ist mit einem linear abnehmenden Dehnungsverhalten verbunden. Unter Vakuumbedingungen können Piezoaktoren und PZT-Keramiken bei einem Druck von unter 10 Pa eingesetzt werden.

Aufgrund der stark reduzierten dielektrischen Durchschlagsfestigkeit von Luft sollten sie nicht im Druckbereich von 10 Pa bis 10 kPa betrieben werden. Um Kriechen und Hysterese zu vermeiden, sind die Piezo-Nanopositionierer nanoX® 200SG oder nanoX® 200CAP mit einem hochauflösenden Messsensor ausgestattet. In Kombination mit dem piezosystem jena Controller wird eine hohe Stabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit im Closed-Loop-Betrieb erreicht.

Die kompakten Abmessungen, sowie vorhandene Befestigungsraster mit Stift- und Gewindebohrungen in Grund- und Deckplatte der Piezo Tische ermöglichen eine problemlose Integration in bestehende Systeme. Auf Anfrage sind Vakuum- und Tieftemperaturausführung erhältlich, ebenso wie Gehäusevarianten aus Invar, Superinvar, Aluminium und Titan.

Technische Daten

EINHEITnanoX 200nanoX 200 SGnanoX 200 CAP
Art. #T-106-20T-106-21T-106-26
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm240240240
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm200200
Auflösung Open Loop**nm0.40.40.4
Auflösung Closed Loop**nm41
Maße (L x B x H)mm52 x 52 x 2252 x 70 x 2252 x 70 x 22
Gewichtg175190300
*Typische Werte gemessen mit 30V300 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.