Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed-loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. Ausgestattet mit einem kapazitiven Sensor, der Hysterese und Drift überwindet, sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Vorgegebene Positionen können mit hoher Stabilität über lange Zeiträume gehalten werden. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit kann der PZ 250 CAP WL mit bis zu 3 kg belastet werden.
Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Solarzellenherstellung, Lithografie und Oberflächeninspektion hervorragend geeignet.
Technische Daten
EINHEIT
PZ 250 CAP WL
Art. #
S-627-51 D
Achse
Z
Bewegung im Open-Loop (±10%)*
μm
350
Bewegung im Closed-Loop*
μm
250
Auflösung**
nm
3
Maße (L x B x H)
mm
400 x 380 x 20
Gewicht
g
2500
*Typischer Wert mit 30DV50 Verstärker gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.
Der von piezosystem jena entwickelte ScaniusOne wurde für das einachsige Positionieren oder Scannen von Proben über einen Bereich von bis zu 120 mm entwickelt. Mit diesem piezobasierten System bieten wir Ihnen eine Lösung für Ihre Anwendungen mit einer unübertroffenen Präzision.
Die Kombination aus hoher Auflösung, Geschwindigkeit und Hub macht dieses System ideal für eine Vielzahl von Anwendungen jenseits der Mikroskopie. Weiterhin ermöglicht Ihnen der ScaniusOne, Objekte mit einem Gewicht von bis zu 700 g vertikal zu positionieren.
Der Nanopositionierer PZ 700 ermöglicht eine hochgenaue Positionierung auf der Z-Achse. Er wird von hochauflösenden Piezokeramiken angetrieben und ermöglicht dank Festkörpergelenksystemen eine vollkommen spielfreie Positionierung. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit eignet sich der PZ 700 besonders für dynamische Applikationen.
Er zeichnet sich durch einen Stellbereich bis zu 700 µm und durch eine Innenapertur von 66 mm x 66 mm aus.
Technische Daten
EINHEIT
PZ 700
Art. #
S-605-90
Achse
Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
700
Auflösung Open-Loop**
nm
1.4
Maße (L x B x H)
mm
120 x 112 x 28
Innenapertur
mm
66 x 66
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 400 OEM Piezotisches erzeugt ein parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auflösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.
Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 400 OEM dynamisch zu betreiben.
Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.
Technische Daten
EINHEIT
PZ 400 OEM
PZ 400 SG OEM
Art. #
S-628-00
S-628-01
Achse
Z
Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
400
400
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*
μm
–
320
Auflösung Open-Loop**
nm
0.8
0.8
Auflösung Closed-Loop**
nm
–
8
Maße (L x B x H)
mm
66 x 20 x 24
66 x 20 x 27.5
Gewicht
g
155
175
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller). **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 400 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.
Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich, den Piezotisch PZ 400 dynamisch zu betreiben.
Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.
Technische Daten
EINHEIT
PZ 400
PZ 400 SG
Art. #
T-118-00
T-118-01
Achse
Z
Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
400
400
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*
μm
–
320
Auflösung Open-Loop**
nm
0.8
0.8
Auflösung Closed-Loop**
nm
–
8
Maße (L x B x H)
mm
52 x 48 x 28.5
52 x 48 x 28.5
Gewicht
g
155
175
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
