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MIPOS 16

Beschreibung

Der Piezopositionierer MIPOS 16 ist speziell für die präzise Positionierung von Optiken mit einer Genauigkeit im Bereich einzelner Lichtwellenlängen konzipiert. Durch die hohe Auflösung und die schnelle Reaktionszeit ergeben sich besonders für die Interferometrie interessante Anwendungsmöglichkeiten.

Mit seinem einzigartigen Design, das eine Innenöffnung von bis zu 104 mm und eine Tischhöhe von bis zu 42 mm umfasst, bietet der MIPOS 16 technische Spezifikationen, die den Anforderungen der Weißlichtinterferometrie entsprechen. Auf dem Gebiet der 3D Messung von Oberflächen ist die Weißlichtinterferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich inzwischen zwar etabliert, Messzeiten und Genauigkeit können aber dank der quasi unbegrenzten Auflösung und der hohen Reaktionsgeschwindigkeit piezoelektrischer Aktoren weiter verbessert werden. Der MIPOS 16 kann einen Fokusbereich von bis zu 16 µm und eine Einzelschrittauflösung von weniger als 0,1 nm erreichen, während er in einem Spannungsbereich zwischen 20 und 130 V arbeitet.

Der MIPOS 16 ist für die Integration in messtechnische Aufbauten und Geräte konzipiert. Der robuste Antrieb ist mit einem hochauflösenden piezobasierten Aktuatorsystem ausgestattet. Die interne mechanische Vorspannung ermöglicht den Betrieb des MIPOS in hochdynamischen Umgebungen und reduziert die Einschwingzeit auf Mikrosekunden.

Technische Daten

MIPOS SerieEinheitMIPOS 16-158MIPOS 16 M85
Art. #O-309-50O-309-10
AchseZZ
Hub Open Loop (±10%)*μm1616
Auflösung Open Loop**nm0.040.04
Maße (L x B x H)mm158 x 4293 x 50
Gewichtg1240300
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

MIPOS 600 SG

Beschreibung

Die Systeme MIPOS 600 OEM bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 600 µm im ungeregelten und 500 µm im geregelten Betrieb. Sie können mit Objektiven von bis zu 40mm Durchmesser eingesetzt werden

Das bewährte Parallelogrammprinzip von piezosystem jena garantiert eine hochparallele Bewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Um eine Position wiederholt und stabil ansteuern zu können, ist die Serie MIPOS SG 600 OEM mit einem integrierten Messsystem ausgerüstet. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet hohe Resonanzfrequenz sowie hochparallele Bewegung und ist als “upside-down” Version für inverse Mikroskope verfügbar.

Basierend auf diesen einzigartigen Eigenschaften der MIPOS 600 Serie können schnelle Scan-Applikationen mit geringsten Anstiegszeiten exakt realisiert werden.

Technische Daten

Art. #O-380-01D
AchseZ
Hub Open Loop (±10%)*μm600
Hub Closed Loop (±0,2%)*μm500
Auflösung Open Loop**nm0.9
Auflösung Closed Loop**nm12
Maße (L x B x H)mm60.5 x 50 x 40.1
Gewichtg370
*Typischer Wert mit EVD125 Verstärker gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

MIPOS 500

Beschreibung

Die Systeme der Serie MIPOS 500 bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 500µm im ungeregelten und 400µm im geregelten Betrieb. Sie können mit Objektiven von bis zu 40mm Durchmesser eingesetzt werden.

Das bewährte Parallelogrammprinzip von piezosystem jena garantiert eine hochparallele Bewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Um eine Position wiederholt und stabil ansteuern zu können, kann die Serie MIPOS 500 optional mit einem integrierten Messsystem ausgerüstet werden. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet eine hohe Resonanzfrequenz sowie hochparallele Bewegung und ist als “upside-down” Version für inverse Mikroskope verfügbar.

Basierend auf diesen einzigartigen Eigenschaften der MIPOS 500 Serie können schnelle
Scan-Applikationen mit geringsten Anstiegszeiten exakt realisiert werden.

Technische Daten

MIPOS SerieEINHEITMIPOS 500MIPOS 500 UDMIPOS 500 SGMIPOS 500 SG UD
Art. # für GewindeM25 x 0.75O-350-00O-360-00O-350-01O-360-01
W0.8 x 1/36″ (RMS)O-354-00O-364-00O-354-01O-364-01
M26 x 0.75O-355-00O-365-00O-355-01O-365-01
M27 x 0.75O-356-00O-366-00O-356-01O-366-01
M32x0.75O-357-00O-367-00O-357-01O-367-01
AchseZZZZ
Hub Open Loop (±10%)*μm500500500500
Hub Closed Loop (±0,2%)*μm400400
Auflösung Open Loop**nm0.90.90.90.9
Auflösung Closed Loop**nm1212
Maße (L x B x H)mm60.5 x 50 x 36.460.2 x 50 x 35.560.5 x 50 x 40.162 x 50 x 41.5
Gewichtg370370370370
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) . **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

nanoMIPOS 400

Beschreibung

Der nanoMIPOS 400 bietet einen Positionier- und Scanbereich bis zu 400µm im ungeregelten und 320µm im geregelten Betrieb. Das System kann mit Objektiven von bis zu 39mm Durchmesser eingesetzt werden.

Das hochentwickelte monolithische Führungsdesign, bestehend aus massiven Festkörpergelenken, bewirkt, dass die Bahnkurve frei von mechanischem Spiel und Reibung ist – eine Eigenschaft, die alle piezosystem jena Systeme bieten.

Das Führungsdesign des nanoMIPOS 400 ist FEM-optimiert um ein Minimum an seitlichem Versatz und Verkippung, sowie eine exzellente Bahntreue zu erreichen. Dabei verhält sich das System äußerst robust gegenüber außermittiger und lateraler Belastung.

Als Option sind integrierte Positionssensoren für den nanoMIPOS 400 erhältlich, die in Verbindung mit der entsprechenden Regelelektronik die Drift- und Hystereseffekte eliminieren.
In Kombination mit einem piezosystem jena Controller bietet das System im geregelten Betrieb hohe Stabilität, Linearität und Wiederholbarkeit.

Technische Daten

MIPOS SerieEINHEITnanoMIPOS 400nanoMIPOS CAP
Art. # für GewindeM25 x 0.75O-543-00O-543-06
W0.8 x 1/36″ (RMS)O-544-00O544-06
M26 x 0.75O-545-00O-545-06
M27 x 0.75O-546-00O-546-06
M32x0.75O-547-00O-547-06
AchseZZ
Hub Open Loop (±10%)*μm400400
Hub Closed Loop (±0,2%)*μm320
Auflösung Open Loop**nm0.80.8
Auflösung Closed Loop**nm1
Maße (L x B x H)mm65 x 45 x 4065 x 45 x 40
Gewichtg300315
*Typischer Wert mit 30DV50 nanoX Controller gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

MIPOS 250

Beschreibung

Der piezoelektrische Objektivpositionierer MIPOS 250 wurde zur hochpräzisen Feinfokussierung von Mikroskopobjektiven entwickelt. Über einen Verstellbereich von 250 µm wird eine Auflösung im sub-nm Bereich ermöglicht. Die Auflösung des MIPOS 250 ist äußerst hoch und in der Praxis nur durch das Spannungsrauschen des Netzteils begrenzt.

Ein separater Einschraubring für den Objektivrevolver ermöglicht eine schnelle Montage und Wechsel des piezoelektrischen Objektivpositionierers. Andere Objektive müssen dabei nicht entfernt werden. Die für alle Standardmikroskopgewinde (Zeiss, Leica, Olympus, Nikon, Mitutoyo) erhältlichen Einschraubringe machen den MIPOS 250 universell einsetzbar.

Um Drift und Hysterese zu vermeiden, gibt es die Möglichkeit, den MIPOS mit einem integrierten Dehnungsmessstreifen-Messsystem “SG” auszustatten. Außerdem kann der MIPOS 250 in inversen Mikroskopen eingesetzt werden – auf dem Kopf stehend.

Technische Daten

MIPOS SerieEINHEITMIPOS 250MIPOS 250 SGMIPOS 250 CAP
Art. # für GewindeM25 x 0.75O-370-00O-370-01O-370-06
W0.8 x 1/36″ (RMS)O-374-00O-374-01O-374-06
M26 x 0.75O-375-00O-375-01O-375-06
M27 x 0.75O-376-00O-376-01O-376-06
M32x0.75O-377-00O-377-01O-377-06
AchseZZZ
Hub Open Loop (±10%)*μm250250250
Hub Closed Loop (±0,2%)*μm200200
Auflösung Open Loop**nm0.50.50.5
Auflösung Closed Loop**nm5.01.0
Maße (L x B x H)mm60.7 x 50 x 23.560.5 x 50 x 35.360.2 x 50 x 34.5
Gewichtg255255350
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller). **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.