Beschreibung
Die Fähigkeit, Lasten bis zu 20 kg zu bewegen, macht den TRITOR 320 zu einem der robustesten, piezobetriebenen 3D-Positioniertische auf dem Markt. Der Tisch kann mit integriertem Messsystem zur Steuerung im Closed Loop ausgestattet werden. Das einzigartige Design der monolithischen Festkörpergelenke ermöglicht einen hervorragenden spiel- und verschleißfreien Einsatz.
Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 320 ideal für Präzisionspositionierung hoher Lasten im Nanometerbereich – etwa Wafer Chucks, Bonding Tools und Pick & Place Systeme.
Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und genauer auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nur durch das Signalrauschen des Controllers begrenzt. Daher sind Piezosysteme eine ausgezeichnete Wahl für Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Optik, Waferhandling, medizinischen Geräten und anderen. Jede Achse kann separat im Closed Loop-Modus gesteuert werden. Ein optional integrierbares Messsystem garantiert Genauigkeit im Nanometerbereich.
Technische Daten
EINHEIT | TRITOR 320 | TRITOR 320 CAP | |
---|---|---|---|
Art. # | T-406-70 | T-406-76 | |
Achsen | X, Y, Z | X, Y, Z | |
Stellweg im Open Loop (±10%)* | μm | 50/50/400 | 50/50/400 |
Stellweg im Closed Loop* | μm | – | 40/40/320 |
Auflösung** (Open Loop Mode) | nm | 0.1/0.1/0.8 | 0.1/0.1/0.8 |
Auflösung** (Closed Loop Mode) | nm | – | 1 |
Maße (L x B x H) | mm | 320 x 320 x 55 | 320 x 320 x 55 |
Gewicht | g | 8000 | 8000 |