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TRITOR 320

Beschreibung

Die Fähigkeit, Lasten bis zu 20 kg zu bewegen, macht den TRITOR 320 zu einem der robustesten, piezobetriebenen 3D-Positioniertische auf dem Markt. Der Tisch kann mit integriertem Messsystem zur Steuerung im Closed Loop ausgestattet werden. Das einzigartige Design der monolithischen Festkörpergelenke ermöglicht einen hervorragenden spiel- und verschleißfreien Einsatz.

Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 320 ideal für Präzisionspositionierung hoher Lasten im Nanometerbereich – etwa Wafer Chucks, Bonding Tools und Pick & Place Systeme.

Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und genauer auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nur durch das Signalrauschen des Controllers begrenzt. Daher sind Piezosysteme eine ausgezeichnete Wahl für Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Optik, Waferhandling, medizinischen Geräten und anderen. Jede Achse kann separat im Closed Loop-Modus gesteuert werden. Ein optional integrierbares Messsystem garantiert Genauigkeit im Nanometerbereich.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 320TRITOR 320 CAP
Art. #T-406-70T-406-76
AchsenX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm50/50/40050/50/400
Stellweg im Closed Loop*μm40/40/320
Auflösung** (Open Loop Mode)nm0.1/0.1/0.80.1/0.1/0.8
Auflösung** (Closed Loop Mode)nm1
Maße (L x B x H)mm320 x 320 x 55320 x 320 x 55
Gewichtg80008000
*Typische Werte mit d-Drive Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

TRITOR 400

Beschreibung

Der TRITOR 400 kann Parallelbewegungen bis 400 µm auf allen drei Achsen realisieren. Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 400 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.

Typische Einsatzbereiche des TRITOR 400 sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade.

Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf einen mechanischen Grundaufbau befestigt – dies ist wichtig beim Einsatz für dynamische Anwendungen. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Der TRITOR 400 ist auch für hochdynamische Anwendungen ausgelegt.

Der TRITOR 400 kann in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan gefertigt werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind optional verfügbar.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 400TRITOR 400 SGTRITOR 400 CAP
Art. #T-406-00T-406-01T-406-06
AchsenX, Y, ZX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm400400400
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*μm320320
Auflösung im Open Loop**nm0.80.80.8
Auflösung im Closed Loop**nm351
Maße (L x B x H)mm116 x 106 x 40116.6 x 106.5 x 40116 x 106 x 40
Gewichtg105010501100
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

TRITOR 100

Beschreibung

Der TRITOR 100 kann Parallelbewegungen bis 100 µm auf allen drei Achsen realisieren. Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 100 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.

Typische Einsatzbereiche des TRITOR 100 sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade.

Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf einen mechanischen Grundaufbau befestigt – dies ist wichtig beim Einsatz für dynamische Anwendungen. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Der TRITOR 100 ist auch für hochdynamische Anwendungen ausgelegt.

Der TRITOR 100 kann in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan gefertigt werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind optional verfügbar.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 100TRITOR 100 SGTRITOR 100 CAP
Art. #T-403-00T-403-21T-403-06
AchsenX, Y, ZX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm100100100
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*μm8080
Auflösung**nm0.22.01.0
Maße (L x B x H)mm40 x 40 x 3440 x 40 x 3460 x 60 x 41
Gewichtg165160550
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

TRITOR 101 & 102

Beschreibung

Der TRITOR 101 und TRITOR 102 sind extrem kompakte Lösungen, die bis zu 100 μm in XYZ–Richtung ermöglichen. Das einzigartige würfelförmige, mechanische Design ermöglicht spielfreie Bewegungen. Sie eignen sich für viele Anwendungen, von der Forschung optischer Elemente bis zur Integration in OEM-Systeme.

Die Ausrichtung von Proben unter Mikroskopen erfordert in der Regel einen zentralen Durchgang von Licht. Der freie Innendurchmesser von 30 mm, (TRITOR 101) und 40 mm (TRITOR 102) machen diese Piezopositionierer daher besonders interessant für Mikroskopie- und für Scan–Applikationen.

Die hohe Steifigkeit in Kombination mit der exzellenten Führungsgenauigkeit macht die TRITOR-Serie ideal für hohe Präzision im Nanometerbereich für Optiken, Laseranwendungen und jede andere Art von hochauflösenden Positionieranwendungen.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 101TRITOR 101 SGTRITOR 102TRITOR 102 SG
Art. #T-404-00T-404-01T-405-00T-405-01
AchsenX, Y, ZX, Y, ZX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm100100100100
Stellweg im Closed Loop*μm8080
Auflösung**nm0.220.22
Maße (L x B x H)mm68 x 68 x 3068 x 68 x 3080 x 80 x 3080 x 80 x 30
Gewichtg480570520610
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

TRITOR 38

Beschreibung

Der einzigartige 3D-XYZ-Nanopositionierer TRITOR 38 nutzt extrem kompakte Elemente, um eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel zu erreichen. Trotz der minimalen Abmessungen können Bewegungen von bis zu 38 µm auf allen drei Achsen realisiert werden. Die Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.

Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 38 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.

Der TRITOR 38 kann einfach mit anderen mechanischen oder elektromagnetischen Positioniersystemen höchster Auflösung kombiniert werden. Aufgrund seines Designs eignet sich der TRITOR 38 für dynamische Anwendungen.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 38TRITOR 38 SG
Art. #T-402-00T-402-01
AchsenX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm3838
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*μm30
Auflösung Open Loop**nm0.070.07
Auflösung Closed Loop**nm0.8
Maße (L x B x H)mm25 x 25 x 2540 x 40 x 33.5
Gewichtg115130
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.