Die Fähigkeit, Lasten bis zu 20 kg zu bewegen, macht den TRITOR 320 zu einem der robustesten, piezobetriebenen 3D-Positioniertische auf dem Markt. Der Tisch kann mit integriertem Messsystem zur Steuerung im Closed-Loop ausgestattet werden. Das einzigartige Design der monolithischen Festkörpergelenke ermöglicht einen hervorragenden spiel- und verschleißfreien Einsatz.
Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 320 ideal für Präzisionspositionierung hoher Lasten im Nanometerbereich – etwa Wafer Chucks, Bonding Tools und Pick & Place Systeme.
Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und genauer auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nur durch das Signalrauschen des Controllers begrenzt. Daher sind Piezosysteme eine ausgezeichnete Wahl für Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Optik, Waferhandling, medizinischen Geräten und anderen. Jede Achse kann separat im Closed Loop-Modus gesteuert werden. Ein optional integrierbares Messsystem garantiert Genauigkeit im Nanometerbereich.
Dynamische Scan-Anwendungen sind eine typische Anwendung von TRITOR-Tischen. Die gleichzeitige Bewegung in X-, Y- und Z-Richtung bietet einen großen Freiheitsgrad. Alle Tische der TRITOR-Serie können mit speziellen Materialien für einzigartige Vakuum- oder Tieftemperaturanwendungen hergestellt werden.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 320
TRITOR 320 CAP
Art. #
T-406-70
T-406-76
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
50/50/400
50/50/400
Stellweg im Closed-Loop*
μm
–
40/40/320
Auflösung** (Open-Loop Mode)
nm
0.1/0.1/0.8
0.1/0.1/0.8
Auflösung** (Closed-Loop Mode)
nm
–
1
Maße (L x B x H)
mm
320 x 320 x 55
320 x 320 x 55
Gewicht
g
8000
8000
*Typische Werte mit d-Drive Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der TRITOR 400 kann Parallelbewegungen bis 400 µm auf allen drei Achsen realisieren. Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 400 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.
Typische Einsatzbereiche des TRITOR 400 sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade.
Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf einen mechanischen Grundaufbau befestigt – dies ist wichtig beim Einsatz für dynamische Anwendungen. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Der TRITOR 400 ist auch für hochdynamische Anwendungen ausgelegt.
Der TRITOR 400 kann in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan gefertigt werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind optional verfügbar.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 400
TRITOR 400 SG
TRITOR 400 CAP
Art. #
T-406-00
T-406-01
T-406-06
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
400
400
400
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
320
320
Auflösung im Open-Loop**
nm
0.8
0.8
0.8
Auflösung im Closed-Loop**
nm
–
35
1
Maße (L x B x H)
mm
116 x 106 x 40
116.6 x 106.5 x 40
116 x 106 x 40
Gewicht
g
1050
1050
1100
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der TRITOR 100 kann Parallelbewegungen bis 100 µm auf allen drei Achsen realisieren. Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 100 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.
Typische Einsatzbereiche des TRITOR 100 sind dynamische Scananwendungen. Simultane Bewegungen auf X, Y, und Z-Achse bieten hohe Freiheitsgrade.
Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf einen mechanischen Grundaufbau befestigt – dies ist wichtig beim Einsatz für dynamische Anwendungen. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Der TRITOR 100 ist auch für hochdynamische Anwendungen ausgelegt.
Der TRITOR 100 kann in Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan gefertigt werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind optional verfügbar.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 100
TRITOR 100 SG
TRITOR 100 CAP
Art. #
T-403-00
T-403-21
T-403-06
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
100
100
100
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
80
80
Auflösung**
nm
0.2
2.0
1.0
Maße (L x B x H)
mm
40 x 40 x 34
40 x 40 x 34
65 x 65 x 44
Gewicht
g
165
160
550
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der TRITOR 101 und TRITOR 102 sind extrem kompakte Lösungen, die bis zu 100 μm in XYZ–Richtung ermöglichen. Das einzigartige würfelförmige, mechanische Design ermöglicht spielfreie Bewegungen. Sie eignen sich für viele Anwendungen, von der Forschung optischer Elemente bis zur Integration in OEM-Systeme.
Die Ausrichtung von Proben unter Mikroskopen erfordert in der Regel einen zentralen Durchgang von Licht. Der freie Innendurchmesser von 30 mm, (TRITOR 101) und 40 mm (TRITOR 102) machen diese Piezopositionierer daher besonders interessant für Mikroskopie- und für Scan–Applikationen.
Die hohe Steifigkeit in Kombination mit der exzellenten Führungsgenauigkeit macht die TRITOR-Serie ideal für hohe Präzision im Nanometerbereich für Optiken, Laseranwendungen und jede andere Art von hochauflösenden Positionieranwendungen.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 101
TRITOR 101 SG
TRITOR 102
TRITOR 102 SG
Art. #
T-404-00
T-404-01
T-405-00
T-405-01
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*
μm
100
100
100
100
Stellweg im Closed Loop*
μm
–
80
–
80
Auflösung**
nm
0.2
2
0.2
2
Maße (L x B x H)
mm
68 x 68 x 30
68 x 68 x 30
80 x 80 x 30
80 x 80 x 30
Gewicht
g
480
570
520
610
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der einzigartige 3D-XYZ-Nanopositionierer TRITOR 38 nutzt extrem kompakte Elemente, um eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel zu erreichen. Trotz der minimalen Abmessungen können Bewegungen von bis zu 38 µm auf allen drei Achsen realisiert werden. Die Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.
Das einzigartige Würfeldesign des Festkörpergelenk-Systems ermöglicht eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel. Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 38 ideal für nanometergenaue Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Laseranwendungen und andere Nanopositionieraufgaben.
Der TRITOR 38 kann einfach mit anderen mechanischen oder elektromagnetischen Positioniersystemen höchster Auflösung kombiniert werden. Aufgrund seines Designs eignet sich der TRITOR 38 für dynamische Anwendungen.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 38
TRITOR 38 SG
Art. #
T-402-00
T-402-01
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
38
38
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)*
μm
–
30
Auflösung Open-Loop**
nm
0.07
0.07
Auflösung Closed-Loop**
nm
–
0.8
Maße (L x B x H)
mm
25 x 25 x 25
40 x 40 x 33.5
Gewicht
g
115
130
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
