Das MIPOS 600 SG bietet einen Nanopositionier- und Scanbereich von bis zu 600 µm im Open-Loop-Betrieb und 500 µm im Closed-Loop-Betrieb. Er kann mit Objektiven mit einem Durchmesser von bis zu 40 mm verwendet werden.

Das einzigartige Parallelogramm-Design garantiert eine hohe Parallelbewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Die präzise Wiederholbarkeit der Positionierung des MIPOS 600 SG kann durch das integrierte Messsystem gewährleistet werden. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet eine hohe Resonanzfrequenz und eine hochparallele Bewegung.

Aufgrund der einzigartigen Eigenschaften des MIPOS 600 SG können schnelle Scanning-Anwendungen mit kurzen Einschwingzeiten präzise realisiert werden.

Der Piezopositionierer MIPOS 16 ist speziell für die präzise Positionierung von Optiken mit einer Genauigkeit im Bereich einzelner Lichtwellenlängen konzipiert. Durch die hohe Auflösung und die schnelle Reaktionszeit ergeben sich besonders für die Interferometrie interessante Anwendungsmöglichkeiten.

Mit seinem einzigartigen Design, das eine Innenöffnung von bis zu 104 mm und eine Tischhöhe von bis zu 42 mm umfasst, bietet der MIPOS 16 technische Spezifikationen, die den Anforderungen der Weißlichtinterferometrie entsprechen. Auf dem Gebiet der 3D Messung von Oberflächen ist die Weißlichtinterferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich inzwischen zwar etabliert, Messzeiten und Genauigkeit können aber dank der quasi unbegrenzten Auflösung und der hohen Reaktionsgeschwindigkeit piezoelektrischer Aktoren weiter verbessert werden. Der MIPOS 16 kann einen Fokusbereich von bis zu 16 µm und eine Einzelschrittauflösung von weniger als 0,1 nm erreichen, während er in einem Spannungsbereich zwischen 20 und 130 V arbeitet.

Der MIPOS 16 ist für die Integration in messtechnische Aufbauten und Geräte konzipiert. Der robuste Antrieb ist mit einem hochauflösenden piezobasierten Aktuatorsystem ausgestattet. Die interne mechanische Vorspannung ermöglicht den Betrieb des MIPOS in hochdynamischen Umgebungen und reduziert die Einschwingzeit auf Mikrosekunden.

Die Systeme MIPOS 800 bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 800 µm im ungeregelten und 650 µm im geregelten Betrieb. Sie können mit Objektiven von bis zu 40mm Durchmesser eingesetzt werden

Das bewährte Parallelogrammprinzip von piezosystem jena garantiert eine hochparallele Bewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Um eine Position wiederholt und stabil ansteuern zu können, ist die MIPOS 800 mit einem integrierten Messsystem ausgerüstet. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet hohe Resonanzfrequenz sowie hochparallele Bewegung.

Basierend auf diesen einzigartigen Eigenschaften der MIPOS 800 können schnelle Scan-Applikationen mit geringsten Anstiegszeiten exakt realisiert werden.

Die Systeme der Serie MIPOS 500 bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 500µm im ungeregelten und 400µm im geregelten Betrieb. Sie können mit Objektiven von bis zu 40mm Durchmesser eingesetzt werden.

Das bewährte Parallelogrammprinzip von piezosystem jena garantiert eine hochparallele Bewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Um eine Position wiederholt und stabil ansteuern zu können, kann die Serie MIPOS 500 optional mit einem integrierten Messsystem ausgerüstet werden. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet eine hohe Resonanzfrequenz sowie hochparallele Bewegung und ist als “upside-down” Version für inverse Mikroskope verfügbar.

Basierend auf diesen einzigartigen Eigenschaften der MIPOS 500 Serie können schnelle
Scan-Applikationen mit geringsten Anstiegszeiten exakt realisiert werden.

Der nanoMIPOS 400 bietet einen Positionier- und Scanbereich bis zu 400µm im ungeregelten und 320µm im geregelten Betrieb. Das System kann mit Objektiven von bis zu 39mm Durchmesser eingesetzt werden.

Das hochentwickelte monolithische Führungsdesign, bestehend aus massiven Festkörpergelenken, bewirkt, dass die Bahnkurve frei von mechanischem Spiel und Reibung ist – eine Eigenschaft, die alle piezosystem jena Systeme bieten.

Das Führungsdesign des nanoMIPOS 400 ist FEM-optimiert um ein Minimum an seitlichem Versatz und Verkippung, sowie eine exzellente Bahntreue zu erreichen. Dabei verhält sich das System äußerst robust gegenüber außermittiger und lateraler Belastung.

Als Option sind integrierte Positionssensoren für den nanoMIPOS 400 erhältlich, die in Verbindung mit der entsprechenden Regelelektronik die Drift- und Hystereseffekte eliminieren.
In Kombination mit einem piezosystem jena Controller bietet das System im geregelten Betrieb hohe Stabilität, Linearität und Wiederholbarkeit.