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PZS 4

Beschreibung

Beim PZS 4 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.

Technicsche Daten

PZS SerieEINHEITPZS 4
Art. #O-101-80
Öffnfung (±10%)*μm0 to 300
Kapazität (± 20%)μF2.5
Auflösung Open Loop**nm0.6
ResonanzfrequenzHz500
Maße (L x B x H)mm50 x 50 x 14
Gewichtg115
*Typischer Wert, gemessen mit einem NV 40/3 Controller ( Closed Loop: NV 40/3 CLE Controller). **Typischer Wert für kleine elektrische Feldstärke.

PZS 3

Beschreibung

Beim PZS 3 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.

Technische Daten

PZS SerieEINHEITPZS 3
Art. #O-103-00
Öffnung (±10%)*μm0 to 1500
Kapazität (± 20%)μF7.2
Auflösung Open Loop**nm3
ResonanzfrequenzHz200
Maße (L x B x H)mm96 x 25 x 14
Gewichtg70
*Typischer Wert, gemessen mit einem NV 40/3 Controller ( Closed Loop: NV 40/3 CLE Controller). **Typischer Wert für kleine elektrische Feldstärke.

PZS 2

Beschreibung

Beim PZS 2 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.

Technische Daten

PZS SerieEINHEITPZS 2
Art. #O-102-00
Öffnung (±10%)*μm0 to 60
Kapazität (± 20%)μF0.7
Auflösung Open Loop**nm0.01
ResonanzfrequenzHz1400
Maße (L x B x H)mm22 x 22 x 9.5
Gewichtg100
*Typischer Wert, gemessen mit einem NV 40/3 Controller ( Closed Loop: NV 40/3 CLE Controller). **Typischer Wert für kleine elektrische Feldstärke.

PZS 1

Beschreibung

Beim PZS 1 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.

Technische Daten

PZS SeriesEINHEITPZS 1
Art. #O-101-00
Öfnnung (±10%)*μm0 to 230
Kapazität (± 20%)μF1.8
Auflösung Open Loop**nm0.05
ResonanzfrequenzHz450
Maße (L x B x H)mm42 x 42 x 14
Gewichtg115
*Typischer Wert, gemessen mit einem NV 40/3 Controller ( Closed Loop: NV 40/3 CLE Controller). **Typischer Wert für kleine elektrische Feldstärke.