PZS 4 – Beschreibung
Beim PZS 4 werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite ist die Ausstattung mit einem Messsystem möglich. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.
Die PZS Shutter/Spaltantriebe sind als UHV-Version und mit verschiedenen Gehäusematerialien und Spaltschneiden (INVAR) erhältlich.
Technicsche Daten
| PZS Serie | EINHEIT | PZS 4 |
|---|---|---|
| Art. # | – | O-101-80 |
| Öffnfung (±10%)* | μm | 0 to 300 |
| Kapazität (± 20%) | μF | 2.5 |
| Auflösung Open-Loop** | nm | 0.6 |
| Resonanzfrequenz | Hz | 500 |
| Maße (L x B x H) | mm | 50 x 50 x 14 |
| Gewicht | g | 115 |
