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PZ 250 CAP WL

Beschreibung

Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed-loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. Ausgestattet mit einem kapazitiven Sensor, der Hysterese und Drift überwindet, sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Vorgegebene Positionen können mit hoher Stabilität über lange Zeiträume gehalten werden. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit kann der PZ 250 CAP WL mit bis zu 3 kg belastet werden.

Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Solarzellenherstellung, Lithografie und Oberflächeninspektion hervorragend geeignet.

Technische Daten

EINHEITPZ 250 CAP WL
Art. #S-627-51 D
AchseZ
Bewegung im Open Loop (±10%)*μm350
Bewegung im Closed Loop*μm250
Auflösung**nm3
Maße (L x B x H)mm400 x 380 x 20
Gewichtg2500
*Typischer Wert mit 30DV50 Verstärker gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

TRITOR 320

Beschreibung

Die Fähigkeit, Lasten bis zu 20 kg zu bewegen, macht den TRITOR 320 zu einem der robustesten, piezobetriebenen 3D-Positioniertische auf dem Markt. Der Tisch kann mit integriertem Messsystem zur Steuerung im Closed Loop ausgestattet werden. Das einzigartige Design der monolithischen Festkörpergelenke ermöglicht einen hervorragenden spiel- und verschleißfreien Einsatz.

Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 320 ideal für Präzisionspositionierung hoher Lasten im Nanometerbereich – etwa Wafer Chucks, Bonding Tools und Pick & Place Systeme.

Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und genauer auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nur durch das Signalrauschen des Controllers begrenzt. Daher sind Piezosysteme eine ausgezeichnete Wahl für Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Optik, Waferhandling, medizinischen Geräten und anderen. Jede Achse kann separat im Closed Loop-Modus gesteuert werden. Ein optional integrierbares Messsystem garantiert Genauigkeit im Nanometerbereich.

Technische Daten

EINHEITTRITOR 320TRITOR 320 CAP
Art. #T-406-70T-406-76
AchsenX, Y, ZX, Y, Z
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm50/50/40050/50/400
Stellweg im Closed Loop*μm40/40/320
Auflösung** (Open Loop Mode)nm0.1/0.1/0.80.1/0.1/0.8
Auflösung** (Closed Loop Mode)nm1
Maße (L x B x H)mm320 x 320 x 55320 x 320 x 55
Gewichtg80008000
*Typische Werte mit d-Drive Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

hpower Ringe

Beschreibung

Ringaktoren sind eine zylindrische Konstruktion mit offener Innenapertur. Im Vergleich zu Stapelaktoren besitzen Ringaktoren eine höhere Biegestabilität, ein besseres Wärmemanagement und ermöglichen den Zugang zur Achse des Systems. Bei gleichem Volumen an PZT-Material hat ein Ringaktuator einen größeren Gesamtdurchmesser, was zu einer höheren Stabilität gegenüber Druckkräften führt. Durch die insgesamt größere Oberfläche wird Wärme schneller aus dem System abgeleitet, so dass sie bei wesentlich höheren Frequenzen als Stapelaktoren betrieben werden können, ohne zu überhitzen. Die hpower-Ring-Serie wird mit oder ohne Vorspannung und mit oder ohne Gehäuse angeboten.

Unsere Ringaktoren erreichen einen Hub bis 130µm, während sie gleichzeitig Kräfte bis 35 kN erzeugen können.

hpower Ringe können flexibel eingesetzt werden, da sie für den Einsatz bei niedrigen Temperaturen angepasst werden sowie mit Thermostabilitäts- und Kühloption ausgestattet werden können. Auch ein axialer Kabelausgang ist möglich.

Technische Daten

(Alle Produktvarianten in der PDF unter dieser Tabelle)

4 BeispielprodukteEINHEITHPSt 1000/10-5/07HPSt 1000/25-15/100HPSt 1000/10-5/7 VS18HPSt 1000/35-25/100 VS45
Hubμm71007100
KapazitätnF151800151800
SteifigkeitN/μm210160210160
ResonanzfrequenzkHz50103510
Maße – Lmm99024107
Äußerer Durchmessermm13401845

hpower Aktoren

Beschreibung

hpower Stapelaktoren bestehen aus PZT-Keramiken, optimiert für hohe Leistung und Dynamik. hpower Stapelaktoren besitzen eine einzigartige, piezosystem jena spezifische Stapelbauform und dienen als unkomplizierte Lösung für viele Anwendungen. Diese Aktoren bieten einen Bewegungsbereich von bis zu 260 µm und auf Wunsch auch mehr – mit Kräften von bis zu 50kN.

Alle unsere Stapelaktoren sind sowohl mit als auch ohne Vorspannung erhältlich. Vorgespannte Aktoren ermöglichen eine erhöhte Dynamik, indem sie das System vor problematischen Zugkräften schützen. Das Gehäuse der Aktoren schützt sie vor Umwelteinflüssen und kann erweitert werden, um den Betrieb unter Vakuumbedingungen und eine höhere Thermostabilität für längere Laufzeiten zu ermöglichen. In alle unsere Aktoren können auch Beschleunigungs-/Kraftmess- und Positionssysteme integriert werden.

Die PSt-Serie wird ohne Gehäuse und ohne Vorspannung geliefert. Die Serie PSt VS wird mit Gehäuse und Vorspannung geliefert. Es gibt eine große Auswahl an hpower-Hochleistungsaktoren (Stapel und Ringe) für Anwendungen wie Materialprüfung und Stoßerzeugung.

Technische Daten

(Alle Produktvariationen in der PDF unter dieser Tabelle)

4 BeispielprodukteEINHEITPSt 1000/35/07PSt 1000/35/80 PSt 1000/16/7 VS25PSt 1000/35/150 VS45
max. Hubμm7807150
KapazitätnF203300605700
SteifigkeitN/μm300450800220
ResonanzfrequenzkHz6015407
Maße – Lmm97229 154
Durchmessermm10352545

Serie RA

Beschreibung

Ringaktoren der Serie RA bestehen aus einer Vielzahl durchkontaktierter Keramikscheiben. Im Vergleich zur Röhrchenaktoren erreichen sie eine höhere Steifigkeit und eine bis zu zweimal so große Ausdehnung.

Ringaktoren der Serie RA sind von einem Gehäuse umschlossen und mechanisch vorgespannt, so dass sie in dynamischen Anwendungen eingesetzt werden können. Sie sind als Open-Loop Variante verfügbar, sowie als Closed-Loop-Version mit integriertem Dehnungsmessstreifen.

Optional ist eine Aufschraubplatte für ein einfaches Anbringen von Spiegeln erhältlich.

Technische Daten

(Alle Produktvariationen in der PDF unter dieser Tabelle)

4 BeispielprodukteEINHEITRA 12/24RA 50/35RA 12/24SGRA 50/35SG
Art. #P-401-10P-406-10P-401-11P-406-11
Hub Open Loop (±10%)*μm1250
Hub Closed Loop (±0.2%)μm1040
Kapazität (±20%)**μF2.9242.924
SteifigkeitN/μm1608016080
Auflösung Open Loop***nm0.030.1
Auflösung Closed Loopnm0.52.0
Maße – Lmm36.570.536.570.5
äußerer Durchmessermm24352435
*typische Werte gemessen mit NV 40/1 CLE Controller. ** typische Werte für Kleinsignalkapazität. ***Die Auflösung wird nur durch das Rauschen des Controllers begrenzt.