Das MIPOS 600 SG bietet einen Nanopositionier- und Scanbereich von bis zu 600 µm im Open-Loop-Betrieb und 500 µm im Closed-Loop-Betrieb. Er kann mit Objektiven mit einem Durchmesser von bis zu 40 mm verwendet werden.
Das einzigartige Parallelogramm-Design garantiert eine hohe Parallelbewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Die präzise Wiederholbarkeit der Positionierung des MIPOS 600 SG kann durch das integrierte Messsystem gewährleistet werden. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet eine hohe Resonanzfrequenz und eine hochparallele Bewegung.
Aufgrund der einzigartigen Eigenschaften des MIPOS 600 SG können schnelle Scanning-Anwendungen mit kurzen Einschwingzeiten präzise realisiert werden.
Technische Daten
Unit
MIPOS 600 SG
Art. #
O-380-01D
Achse
Z
Hub open-loop (±10%)*
μm
600
Hub closed-loop (±0,2%)*
μm
500
Auflösung open-loop**
nm
0.9
Auflösung closed-loop**
nm
12
Maße (L x B x H)
mm
60.5 x 50 x 40.1
Gewicht
g
370
*Typischer Wert mit 0.7 mV Verstärker. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.
Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed-loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. Ausgestattet mit einem kapazitiven Sensor, der Hysterese und Drift überwindet, sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Vorgegebene Positionen können mit hoher Stabilität über lange Zeiträume gehalten werden. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit kann der PZ 250 CAP WL mit bis zu 3 kg belastet werden.
Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Solarzellenherstellung, Lithografie und Oberflächeninspektion hervorragend geeignet.
Technische Daten
EINHEIT
PZ 250 CAP WL
Art. #
S-627-51 D
Achse
Z
Bewegung im Open-Loop (±10%)*
μm
350
Bewegung im Closed-Loop*
μm
250
Auflösung**
nm
3
Maße (L x B x H)
mm
400 x 380 x 20
Gewicht
g
2500
*Typischer Wert mit 30DV50 Verstärker gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.
Die Fähigkeit, Lasten bis zu 20 kg zu bewegen, macht den TRITOR 320 zu einem der robustesten, piezobetriebenen 3D-Positioniertische auf dem Markt. Der Tisch kann mit integriertem Messsystem zur Steuerung im Closed-Loop ausgestattet werden. Das einzigartige Design der monolithischen Festkörpergelenke ermöglicht einen hervorragenden spiel- und verschleißfreien Einsatz.
Hohe Steifigkeit in Kombination mit exzellenter Führungsgenauigkeit machen den TRITOR 320 ideal für Präzisionspositionierung hoher Lasten im Nanometerbereich – etwa Wafer Chucks, Bonding Tools und Pick & Place Systeme.
Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und genauer auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Die Auflösung piezoelektrischer Aktoren ist nur durch das Signalrauschen des Controllers begrenzt. Daher sind Piezosysteme eine ausgezeichnete Wahl für Positionieranwendungen in der Faserausrichtung, Optik, Waferhandling, medizinischen Geräten und anderen. Jede Achse kann separat im Closed Loop-Modus gesteuert werden. Ein optional integrierbares Messsystem garantiert Genauigkeit im Nanometerbereich.
Dynamische Scan-Anwendungen sind eine typische Anwendung von TRITOR-Tischen. Die gleichzeitige Bewegung in X-, Y- und Z-Richtung bietet einen großen Freiheitsgrad. Alle Tische der TRITOR-Serie können mit speziellen Materialien für einzigartige Vakuum- oder Tieftemperaturanwendungen hergestellt werden.
Technische Daten
EINHEIT
TRITOR 320
TRITOR 320 CAP
Art. #
T-406-70
T-406-76
Achsen
X, Y, Z
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
50/50/400
50/50/400
Stellweg im Closed-Loop*
μm
–
40/40/320
Auflösung** (Open-Loop Mode)
nm
0.1/0.1/0.8
0.1/0.1/0.8
Auflösung** (Closed-Loop Mode)
nm
–
1
Maße (L x B x H)
mm
320 x 320 x 55
320 x 320 x 55
Gewicht
g
8000
8000
*Typische Werte mit d-Drive Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Ringaktoren sind eine zylindrische Konstruktion mit offener Innenapertur. Im Vergleich zu Stapelaktoren besitzen Ringaktoren eine höhere Biegestabilität, ein besseres Wärmemanagement und ermöglichen den Zugang zur Achse des Systems. Bei gleichem Volumen an PZT-Material hat ein Ringaktuator einen größeren Gesamtdurchmesser, was zu einer höheren Stabilität gegenüber Druckkräften führt. Durch die insgesamt größere Oberfläche wird Wärme schneller aus dem System abgeleitet, so dass sie bei wesentlich höheren Frequenzen als Stapelaktoren betrieben werden können, ohne zu überhitzen. Die hpower-Ring-Serie wird mit oder ohne Vorspannung und mit oder ohne Gehäuse angeboten.
Unsere Ringaktoren erreichen einen Hub bis 130µm, während sie gleichzeitig Kräfte bis 35 kN erzeugen können.
hpower Ringe können flexibel eingesetzt werden, da sie für den Einsatz bei niedrigen Temperaturen angepasst werden sowie mit Thermostabilitäts- und Kühloption ausgestattet werden können. Auch ein axialer Kabelausgang ist möglich.
Technische Daten
(Alle Produktvarianten in der PDF unter dieser Tabelle)
hpower Stapelaktoren bestehen aus PZT-Keramiken, optimiert für hohe Leistung und Dynamik. hpower Stapelaktoren besitzen eine einzigartige, piezosystem jena spezifische Stapelbauform und dienen als unkomplizierte Lösung für viele Anwendungen. Diese Aktoren bieten einen Bewegungsbereich von bis zu 260 µm und auf Wunsch auch mehr – mit Kräften von bis zu 50kN.
Alle unsere Stapelaktoren sind sowohl mit als auch ohne Vorspannung erhältlich. Vorgespannte Aktoren ermöglichen eine erhöhte Dynamik, indem sie das System vor problematischen Zugkräften schützen. Das Gehäuse der Aktoren schützt sie vor Umwelteinflüssen und kann erweitert werden, um den Betrieb unter Vakuumbedingungen und eine höhere Thermostabilität für längere Laufzeiten zu ermöglichen. In alle unsere Aktoren können auch Beschleunigungs-/Kraftmess- und Positionssysteme integriert werden.
Die PSt-Serie wird ohne Gehäuse und ohne Vorspannung geliefert. Die Serie PSt VS wird mit Gehäuse und Vorspannung geliefert. Es gibt eine große Auswahl an hpower-Hochleistungsaktoren (Stapel und Ringe) für Anwendungen wie Materialprüfung und Stoßerzeugung.
Technische Daten
(Alle Produktvariationen in der PDF unter dieser Tabelle)
