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PXY 200 D12

Beschreibung

Der Nanopositionierer PXY 200 D12 wurde für Pixelshifting, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.

Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 200 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.

Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.

Technische Daten

UNITPXY 200 D12PXY 200 D12 SGPXY 200 D12 CAP
Art. #S-605-20S-605-21S-605-26
AchseX, YX, YX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm200200200
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*μm160160
Auflösung Open Loop**nm0.4
Auflösung Closed Loop**nm41
Maße (L x B x H)mm57.5 x 64 x 1657.5 x 64 x 1675.5 x 69 x 27
Gewichtg160160225
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) . **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

PXY 80 D12

Beschreibung

Der Nanopositionierer PXY 80 D12 wurde für Pixelshift, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.

Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 80 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.

Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.

Technische Daten

EINHEITPXY 80 D12PXY 80 D12 SGPXY 80 D12 CAP
Art. #S-605-10S-605-14S-605-16
AchseX, YX, YX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm808080
Stellweg im Closed Loop (±0.2%)*μm6565
Auflösung Open Loop**nm0.16
Auflösung Closed Loop**nm1.61
Maße (L x B x H)mm54 x 53.5 x 1654 x 53.5 x 1664 x 63.5 x 22
Maßeg9090155
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) . **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

PXY 40 D12

Beschreibung

Der Nanopositionierer PXY 40 D12 wurde für Pixelshifting, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.

Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 400 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.

Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.

Technische Daten

EINHEITPXY 40 D12
Art. #S-605-37
AchseX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm40
Auflösung Open Loop**nm0.08
Maße (L x B x H)mm54 x 53.5 x 20
Gewichtg90
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

nanoSXY 400

Beschreibung

Der nanoSXY 400 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für große Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einem freien Innendurchmesser von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination mit einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo-Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten mit einer Auflösung von 0.6 nm bewegen. Dieses Design sichert extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert aktiv die Einschwingzeit. Der nanoSXY 400 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im Closed Loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamischer Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Technische Daten

EINHEITnanoSXY 400nanoSXY 400 CAP
Art. #T-224-00T-224-06
AchseX, YX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm400400
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm320
Auflösung Open Loop**nm0.80.8
Auflösung Closed Loop**nm1.0
Maße (L x B x H)mm60 x 60 x 2060 x 82 x 30
Gewichtg300410
*Typische Werte gemessen mit 30V300 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

nanoSXY 120

Beschreibung

Der nanoSXY 120 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für große Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einem freien Innendurchmesser von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination mit einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten mit einer Auflösung von 0.25 nm bewegen. Dieses Design sichert extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert aktiv die Einschwingzeit. Der nanoSXY 120 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im closed-loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamischer Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Technische Daten

EINHEITnanoSXY 120nanoSXY 120 CAP
Art. #T-223-00T-223-06
AchseX, YX, Y
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm120
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm100
Auflösung Open Loop**nm0.24
Auflösung Closed Loop**nm1.0
Maße (L x B x H)mm60 x 60 x 2060 x 87 x 30
Gewichtg250350
*Typische Werte gemessen mit 30V300 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.