Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed-loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. Ausgestattet mit einem kapazitiven Sensor, der Hysterese und Drift überwindet, sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Vorgegebene Positionen können mit hoher Stabilität über lange Zeiträume gehalten werden. Aufgrund seiner hohen Steifigkeit kann der PZ 250 CAP WL mit bis zu 3 kg belastet werden.
Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Solarzellenherstellung, Lithografie und Oberflächeninspektion hervorragend geeignet.
Technische Daten
EINHEIT
PZ 250 CAP WL
Art. #
S-627-51 D
Achse
Z
Bewegung im Open-Loop (±10%)*
μm
350
Bewegung im Closed-Loop*
μm
250
Auflösung**
nm
3
Maße (L x B x H)
mm
400 x 380 x 20
Gewicht
g
2500
*Typischer Wert mit 30DV50 Verstärker gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.
Ringaktoren sind eine zylindrische Konstruktion mit offener Innenapertur. Im Vergleich zu Stapelaktoren besitzen Ringaktoren eine höhere Biegestabilität, ein besseres Wärmemanagement und ermöglichen den Zugang zur Achse des Systems. Bei gleichem Volumen an PZT-Material hat ein Ringaktuator einen größeren Gesamtdurchmesser, was zu einer höheren Stabilität gegenüber Druckkräften führt. Durch die insgesamt größere Oberfläche wird Wärme schneller aus dem System abgeleitet, so dass sie bei wesentlich höheren Frequenzen als Stapelaktoren betrieben werden können, ohne zu überhitzen. Die hpower-Ring-Serie wird mit oder ohne Vorspannung und mit oder ohne Gehäuse angeboten.
Unsere Ringaktoren erreichen einen Hub bis 130µm, während sie gleichzeitig Kräfte bis 35 kN erzeugen können.
hpower Ringe können flexibel eingesetzt werden, da sie für den Einsatz bei niedrigen Temperaturen angepasst werden sowie mit Thermostabilitäts- und Kühloption ausgestattet werden können. Auch ein axialer Kabelausgang ist möglich.
Technische Daten
(Alle Produktvarianten in der PDF unter dieser Tabelle)
hpower Stapelaktoren bestehen aus PZT-Keramiken, optimiert für hohe Leistung und Dynamik. hpower Stapelaktoren besitzen eine einzigartige, piezosystem jena spezifische Stapelbauform und dienen als unkomplizierte Lösung für viele Anwendungen. Diese Aktoren bieten einen Bewegungsbereich von bis zu 260 µm und auf Wunsch auch mehr – mit Kräften von bis zu 50kN.
Alle unsere Stapelaktoren sind sowohl mit als auch ohne Vorspannung erhältlich. Vorgespannte Aktoren ermöglichen eine erhöhte Dynamik, indem sie das System vor problematischen Zugkräften schützen. Das Gehäuse der Aktoren schützt sie vor Umwelteinflüssen und kann erweitert werden, um den Betrieb unter Vakuumbedingungen und eine höhere Thermostabilität für längere Laufzeiten zu ermöglichen. In alle unsere Aktoren können auch Beschleunigungs-/Kraftmess- und Positionssysteme integriert werden.
Die PSt-Serie wird ohne Gehäuse und ohne Vorspannung geliefert. Die Serie PSt VS wird mit Gehäuse und Vorspannung geliefert. Es gibt eine große Auswahl an hpower-Hochleistungsaktoren (Stapel und Ringe) für Anwendungen wie Materialprüfung und Stoßerzeugung.
Technische Daten
(Alle Produktvariationen in der PDF unter dieser Tabelle)
Ringaktoren der Serie RA bestehen aus einer Vielzahl durchkontaktierter Keramikscheiben. Im Vergleich zur Röhrchenaktoren erreichen sie eine höhere Steifigkeit und eine bis zu zweimal so große Ausdehnung.
Ringaktoren der Serie RA sind von einem Gehäuse umschlossen und mechanisch vorgespannt, so dass sie in dynamischen Anwendungen eingesetzt werden können. Sie sind als Open-Loop Variante verfügbar, sowie als Closed-Loop-Version mit integriertem Dehnungsmessstreifen.
Optional ist eine Aufschraubplatte für ein einfaches Anbringen von Spiegeln erhältlich.
Technische Daten
(Alle Produktvariationen in der PDF unter dieser Tabelle)
4 Beispielprodukte
EINHEIT
RA 12/24
RA 50/35
RA 12/24SG
RA 50/35SG
Art. #
P-401-10
P-406-10
P-401-11
P-406-11
Hub Open Loop (±10%)*
μm
12
50
–
–
Hub Closed Loop (±0.2%)
μm
–
–
10
40
Kapazität (±20%)**
μF
2.9
24
2.9
24
Steifigkeit
N/μm
160
80
160
80
Auflösung Open Loop***
nm
0.03
0.1
–
–
Auflösung Closed Loop
nm
–
–
0.5
2.0
Maße – L
mm
36.5
70.5
36.5
70.5
äußerer Durchmesser
mm
24
35
24
35
*typische Werte gemessen mit NV 40/1 CLE Controller. ** typische Werte für Kleinsignalkapazität. ***Die Auflösung wird nur durch das Rauschen des Controllers begrenzt.
Die Ringaktoren der Serie R (ohne Gehäuse) und RA (Metallgehäuse) sind im leistungsfähigen Multilayer-Design aufgebaut. Durch ihre Bauform eignen sie sich im Vergleich zu Röhrchenaktoren, wesentlich höheren Belastungen zu widerstehen und sie erreichen ca. das Doppelte der Ausdehnung.
Aktoren der Serie R sind nicht vorgespannt und besitzen kein Gehäuse. Bitte beachten Sie, dass dynamische Anwendungen vorgespannte Aktoren, wie die der Serie RA, benötigen.
Aktoren der Serie R sind nur für Open-Loop-Anwendungen geeignet.
Optional sind aufschraubbare Spiegelhalter zur einfachen Montage erhältlich.
Technische Daten
(Alle Produktvariationen in der PDF unter dieser Tabelle)
3 Beispielprodukte
EINHEIT
R 12/14
R 25/20
R 50/20
Art. #
P-401-00
P-404-00
P-406-00
Hub Open-Loop (±10%)*
μm
12
25
50
Kapazität (±20%)**
μF
2.9
12
24
Steifigkeit
N/μm
160
160
80
Auflösung Open-Loop***
nm
0.03
0.05
0.1
Maße – H
mm
13.5
27
54
äußerer Durchmesser
mm
14
20
20
*typische Werte gemessen mit NV 40/1 CLE Controller. ** typische Werte für Kleinsignalkapazität. ***Die Auflösung wird nur durch das Rauschen des Controllers begrenzt.
