MICI 200

  • Stellbereich bis zu 250 µm
  • Feinverstellung für Lineartische
  • Vollkommen spielfreier Antrieb
  • Nanometer-präzise Justage großer Lasten
  • Hohe Resonanzfrequenz
  • MICI 200 ist kompatibel mit der Mikrometerschraube "Mitutoyo" Serie 152
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Beschreibung

Das Mikrometerschrauben-Piezosystem MICI 200 basiert auf einem Hochleistungs-Piezoantrieb mit Wegübersetzung, der einen Bewegungsbereich von bis zu 250 µm im offenen Regelkreis (ohne Rückkopplung) ermöglicht.

Der Piezoaktor bewegt mittels Festkörpergelenksystem die Mikrometerschraube nanometergenau, die zur Grobpositionierung des Linearsystems eingesetzt wird. Somit kann die Positioniergenauigkeit von Linearsystemen deutlich verbessert werden. Die erreichbare Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.

Der Vorteil der MICI Systeme liegt in der einfachen, auch nachträglichen Montage in ein vorhandenes System, um dessen Auflösung in den sub-nm-Bereich zu verbessern.

Technische Daten

MICI SerieEINHEITMICI 200
Art. # S-703-00
AchseX
Hub Open Loop (±10%)*μm250
Auflösung Open Loop**nm0.56
Maße (L x B x H)mm85 x 28 36.5
Gewichtg280
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller). **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

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