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PSH 1-4z

PSH 1z-4z Beschreibung

Die Spiegelpositionierer PSH 1z, PSH 2z, PSH 3z und PSH 4z bestehen aus drei aktiven Piezoaktoren. Diese bewirken die Verkippung der Deckplatte auf 3 Kippachsen. Werden alle Aktoren parallel angesteuert, erreicht die Deckplatte einen Hub bis 8 µm. Zwei der Kippachsen stehen dabei senkrecht zueinander.

Durch den speziellen Aufbau wird eine Temperaturkompensation erreicht, so dass der Kippwinkel unabhängig von der Umgebungstemperatur ist. Die Spiegelhalterung ist vorgespannt, so dass das System für dynamische Anwendungen geeignet ist. Einer der Hauptvorteile ist die hohe Resonanzfrequenz, wodurch diese Systeme eine Reaktionszeit von weniger als einer Sekunde bieten können.

Für hohe Positioniergenauig- und -wiederholbarkeit sind Closed-Loop Versionen mit integriertem Positionssensor verfügbar. Nichtmagnetisches Material und individuelle Größen der Deckplatte sind auf Anfrage erhältlich. Diese PSH-Systeme sind für Spiegel und optische Komponenten mit einem Durchmesser von bis zu 50 mm ausgelegt.

Um andere Komponenten auf der Kopfplatte zu montieren, sind Gewinde- und Stiftbohrungen vorhanden. Eine spezielle Montageklemme wird für diese Systeme angeboten, so dass Drehkräfte zwischen Gehäuse und Kopfplatte vermieden werden, wenn Komponenten montiert werden.

Technische Daten

DeckplatteEINHEITPSH 1zPSH 2zPSH 3zPSH 4z
Art. #Type A, 1″K-201-10K-202-10K-203-10K-204-10
Type B, 1.5″K-201-20K-202-20K-203-20K-204-20
AchsenX, Y, ZX, Y, ZX, Y, ZX, Y, Z
Kippwinkel Open-Loop (±10%)*mrad1234
Auflösung**µrad0.0020.0040.0060.008
Maßemm25 x 25 x 2425 x 25 x 3325 x 25 x 4225 x 25 x 51
Gewichtg48586883
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
DeckplatteEINHEITPSH 1z SGPSH 2z SGPSH 3z SGPSH 4z SG
Art. #Type A, 1″K-201-11K-202-11K-203-11K-204-11
Type B, 1.5″K-201-21K-202-21K-203-21K-204-21
AchsenX, Y, ZX, Y, ZX, Y, ZX, Y, Z
Kippwinkel Open-Loop (±10%)*mrad1234
Kippwinkel Closed-Loop (±0.2%)*mrad0.81.62.43.2
Auflösung Open-Loop**µrad0.0020.0040.0060.008
Auflösung Closed-Loop**µrad0.020.040.060.08
Maßemm25 x 25 x 2425 x 25 x 3325 x 25 x 4225 x 25 x 51
Gewichtg48586883
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.